[发明专利]微波介质涂层电控检测装置及其检测方法

权利要求书

1.微波介质涂层电控检测装置，其特征在于设有矩形波导、平行耦合微带电极、直流稳压电源、矢量网络分析仪、计算机和短路板；所述矩形波导的前端与矢量网络分析仪的端口连接，平行耦合微带电极设在矩形波导的中间，矩形波导的后端连接短路板，直流稳压电源的输出端与平行耦合微带电极连接，矢量网络分析仪通过电缆与计算机的输入端口连接。

2.如权利要求1所述的微波介质涂层电控检测装置，其特征在于所述矩形波导的工作频段为45MHz～40GHz；所述矢量网络分析仪采用频率覆盖范围为45MHz～40GHz的矢量网络分析仪。

3.如权利要求1所述的微波介质涂层电控检测装置，其特征在于所述矩形波导的前端通过同轴电缆波导转换接头与矢量网络分析仪的端口连接。

4.如权利要求1所述的微波介质涂层电控检测装置，其特征在于所述矩形波导采用标配矩形波导，作为样品测量夹具。

5.微波介质涂层的电控检测方法，其特征在于采用如权利要求1～4中的任一所述微波介质涂层电控检测装置，所述方法包括以下步骤：

1)采用标配的开路、短路、负载校准件完成矢量网络分析仪的校准工作，再完成同轴波导转换接头连接标准波导后的端面校准；

2)将所设计的U型平行耦合微带电极加载在待测样品上，然后放入矩形波导端面中由短路板夹持进行测试，两平行耦合微带电极固定相连，实际尺寸略长于设计的尺寸，保证被测试样在检测区获取均匀的直流偏置场；

3)在平行耦合微带电极之间加载直流偏置电压0V、1V、2V……，观察散射参数S₁₁的变化并分别记录S₁₁(0)、S₁₁(1)、S₁₁(2)……的实部和虚部；

4)分别测试已知空气层和聚四氟乙烯(PTFE)涂层，根据测得的散射参数，利用matlab语言编写的程序计算出介电常数数值，并通过将已知涂层电磁参数与测试结果进行对比，确定本测试系统的可靠性、测试误差和测试精度。