[发明专利]多功能石英舟有效
申请号: | 201210073847.3 | 申请日: | 2012-03-20 |
公开(公告)号: | CN102709219A | 公开(公告)日: | 2012-10-03 |
发明(设计)人: | 宋伟宏;计斌;陆建国;沈根法 | 申请(专利权)人: | 湖州奥博石英科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673 |
代理公司: | 湖州金卫知识产权代理事务所(普通合伙) 33232 | 代理人: | 赵卫康 |
地址: | 313000 浙江省湖州*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 多功能 石英 | ||
1.多功能石英舟,包括舟首(1)、舟身(2)和舟尾(3),所述舟身(2)由纵向构件形成,所述纵向构件包括龙骨(21)和龙筋(22),所述龙骨(21)和龙筋(22)上均设置有成排的卡槽(201),其特征在于:所述龙骨(21)和龙筋(22)上的卡槽(201)均设置在内上角。
2.根据权利要求1所述的多功能石英舟,其特征在于:所述舟首(1)和舟尾(3)上均设置有相同轨槽(102);所述龙筋(22)有两个,其中一个龙筋通过所述轨槽(102)活动连接在所述舟首(1)和舟尾(3)上。
3.根据权利要求2所述的多功能石英舟,其特征在于:所述轨槽(102)的横截面为“一”字形。
4.根据权利要求3所述的多功能石英舟,其特征在于:与所述轨槽(102)活动连接的龙筋(21),它的轴(211)伸出所述轨槽(102),并且,其中一端的伸出部分粗于未伸出部分,另一端的未伸出部分粗于伸出部分。
5.根据权利要求2所述的多功能石英舟,其特征在于:所述轨槽(102)的横截面为“1”字形。
6.根据权利要求2所述的多功能石英舟,其特征在于:所述轨槽(102)的横截面为“T”字形。
7.根据权利要求1或2所述的多功能石英舟,其特征在于:所述石英舟还具有4个支撑脚(101),所述支撑脚(101)设置在舟首(1)和舟尾(3)的下部。
8.根据权利要求7所述的多功能石英舟,其特征在于:所述龙骨(21)之间的间距为L,所述支撑脚(101)高度为h,则满足以下关系:h>1/2L。
9.根据权利要求1或2所述的多功能石英舟,其特征在于:所述龙骨(21)和龙筋(22)之间还连接有肋骨(23)。
10.根据权利要求1或2所述的多功能石英舟,其特征在于:所述石英舟的舟首(1)和舟尾(3)上均设置有两个小孔(103);所述石英舟的舟首(1)和舟尾(3)上还各设置有一对把柱(104),其中一对把柱(104)的下缘还设置有洼口(1041)。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造