[发明专利]平台台面的平面度测量装置及测量方法

权利要求书

1.一种平台台面的平面度测量装置，包括XY二维运动平台系统、Z轴运动系统和Z轴加工头，其特征在于：所述的Z轴加工头上设置有一套测量头，该测量头包括测量杆、固定座和感应器，感应器固定于固定座上，测量杆设置于固定座中并可自由上下移动。

2.根据权利要求1所述的平台台面的平面度测量装置，其特征在于：Z轴运动系统包括伺服电机、导轨、滑块和Z轴丝杆，所述的滑块设置于导轨上并可沿导轨滑动，所述的Z轴丝杆通过螺母连接Z轴加工头，伺服电机设置于Z轴丝杆的一端。

3.根据权利要求1所述的平台台面的平面度测量装置，其特征在于：所述测量头的固定座与Z轴加工头连接在一起。

4.根据权利要求1所述的平台台面的平面度测量装置，其特征在于：所述的加工头设置于滑块上。

5.根据权利要求2所述的平台台面的平面度测量装置，其特征在于：所述的测量装置还包括控制系统，伺服电机包括一编码器，通过控制系统读取编码器的信号进行平面度的测量。

6.一种平台台面的平面度测量方法，其特征在于：包括下列步骤：

(1)、XY二维运动平台移动至第一测量点；

(2)、Z轴运动系统带动测量头向下移动，测量头上的测量杆接触平台台面，最终测量杆触发感应器；

(3)、控制系统接收到感应器发出的信号，记录此时Z轴运动系统伺服电机中编码器位置信号；

(4)、反复移动XY二维运动平台系统至其它测量点，重量上述测量过程，记录下所有测量点处的Z轴伺服电机编码器位置信号；

(5)根据Z轴运动系统上的Z轴丝杆导程和上述所有测量点的位置信号，即可算出台面各点的最大高度差。