[发明专利]一种晶体生长时下轴对坩埚的柔性降温结构

权利要求书

1.一种晶体生长时下轴对坩埚的柔性降温结构，包括下轴(12)、管路(13)和附加管(19)，在下轴(12)的内壁或外壁设有附加管(19)，所述附加管(19)与下轴(12)的内壁或外壁之间具有间隙(20)；管路(13)间隔设置在下轴(12)内附加管(19)的内孔(21)内或管路(13)间隔设置在附加管(19)包裹的下轴(12)内。

2.根据权利要求1所述的晶体生长时下轴对坩埚的柔性降温结构，其特征是：所述下轴(12)的上端设置为封闭结构。

3.根据权利要求1所述的晶体生长时下轴对坩埚的柔性降温结构，其特征是：所述下轴(12)上端的封闭结构为，在所述下轴(12)上端的敝口上覆盖下轴上端封盖(17)，下轴上端封盖(17)与下轴(12)上端的敞口为嵌入式连接或覆盖式连接；其中覆盖式连接时封盖外缘(18)等于下轴(12)直径或小于下轴(12)直径。

4.根据权利要求1所述的晶体生长时下轴对坩埚的柔性降温结构，其特征是：所述附加管(19)与下轴(12)的内壁之间的间隙(20)，附加管(19)上端为封闭端(22)或敞口结构，下轴(12)内壁为光面，在下轴(12)内壁设置的附加管(19)外壁设有外螺纹、外轮齿(23)、弹簧状槽、间隔凹陷、凸起块、凸起点或纵横交错的凹槽；由外螺纹、外轮齿(23)、弹簧状槽、间隔凹陷、凸起块、凸起点或纵横交错的凹槽之间的间隙(20)形成隔温结构。

5.根据权利要求1或4所述的晶体生长时下轴对坩埚的柔性降温结构，其特征是：附加管(19)外壁为光面，下轴(12)的内壁设有内轮齿(24)、间隔凹陷或内螺纹(25)，由内轮齿(24)、间隔凹陷或内螺纹(25)之间的间隙(20)形成隔温结构。

6.根据权利要求1所述的晶体生长时下轴对坩埚的柔性降温结构，其特征是：附加管(19)的外壁与下轴(12)的内壁之间设有间距，在附加管(19)外壁间隔设有多个凹槽或在下轴(12)的内壁间隔设有多个凹槽，在下轴(12)的内壁与附加管(19)外壁之间插入插柱(26)，由附加管(19)外壁和下轴(12)内壁的插柱(26)与插柱(26)之间形成间隙(20)隔温结构。

7.根据权利要求1所述的晶体生长时下轴对坩埚的柔性降温结构，其特征是：所述附加管(19)与下轴(12)外壁之间的间隙(20)，附加管(19)包裹下轴(12)外部，在下轴(12)外部设有外螺纹、外轮齿、弹簧状槽、间隔凹陷、凸起块、凸起点或纵横交错的凹槽；由外螺纹、外轮齿、弹簧状槽、间隔凹陷、凸起块、凸起点或纵横交错的凹槽之间的间隙(20)形成隔温结构。

8.根据权利要求1或7所述的晶体生长时下轴对坩埚的柔性降温结构，其特征是：下轴(12)外壁为光面，附加管(19)的内壁设有内轮齿、间隔凹陷或内螺纹，由内轮齿、间隔凹陷或内螺纹(25)之间的间隙(20)形成隔温结构。

9.根据权利要求1所述的晶体生长时下轴对坩埚的柔性降温结构，其特征是：下轴(12)的外壁与附加管(19)的内壁之间设有间距，在下轴(12)外壁间隔设有多个凹槽或在附加管(19)的内壁间隔设有多个凹槽，在附加管(19)的内壁与下轴(12)外壁之间插入插柱(26)，由下轴(12)外壁和附加管(19)内壁之间的插柱(26)与插柱(26)之间形成间隙(20)隔温结构。