[发明专利]基板检测装置及方法有效
申请号: | 201210075574.6 | 申请日: | 2012-03-21 |
公开(公告)号: | CN102621149A | 公开(公告)日: | 2012-08-01 |
发明(设计)人: | 郑文达 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电技术有限公司 |
主分类号: | G01N21/88 | 分类号: | G01N21/88;G02F1/13 |
代理公司: | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人: | 胡海国 |
地址: | 518132 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 检测 装置 方法 | ||
技术领域
本发明涉及液晶面板技术领域,尤其涉及一种基板检测装置及方法。
背景技术
液晶显示器(Liquid Crystal Display,LCD)是利用液晶材料的特性来显示图像的一种平板显示装置(Flat Panel Display,FPD),其相较于其他显示装置而言具轻薄、低驱动电压及低功耗等优点,已经成为整个消费市场上的主流产品。
液晶面板是液晶显示器最主要的组成元件,液晶面板的制作工艺主要为将薄膜式晶体管阵列基板及彩色滤光片基板贴合,并将液晶层设置在两基板之间。该薄膜式晶体管阵列基板及彩色滤光片基板均为在基板上通过沉积薄膜层、曝光、蚀刻等制程而形成。基板在进行上述制程时,若基板上粘附有杂质,会对上述制程产生不良影响甚至是造成基板报废,严重影响液晶面板的良率,造成基板的浪费。而玻璃碎屑则是对液晶面板的良率影响最大的杂质,因此,急切需要一种能快速检测基板上是否存在玻璃碎屑的方法。
发明内容
本发明的主要目的是提供一种基板检测装置,旨在快速地检测出基板上是否存在玻璃屑。
本发明提供了一种基板检测装置,包括光源、光检测装置,所述光源、光检测装置均设置在基板的同一侧,且所述光源发出的光线的行进方向与基板呈夹角设置,所述光检测装置接收光线的方向与光源发出的光线的行进方向呈夹角设置。
优选地,所述光源发出的光线的行进方向与基板的夹角为0-90°。
优选地,所述光检测装置接收光线的方向与光源发出的光线的行进方向形成的夹角为70-110°。
优选地,光检测装置接收光线的方向与光源发出的光线的行进方向形成的夹角为90°。
优选地,还包括控制装置,所述控制装置与光检测装置连接,用于控制光检测装置以预置的轨迹运动。
本发明还提供了一种基板检测方法,包括以下步骤:
将基板置于检测台上;
将光源放置及光检测装置放置在基板的同一侧,且光源发出的光线的行进方向与基板呈夹角设置,光源发出的光线的行进方向与光检测装置接收光线的方向呈夹角设置,并开启光源及光检测装置;
若光检测装置检测到光信号,则返回存在玻璃屑的结果信息。
优选地,所述光源发出的光线的行进方向与基板的夹角为0-90°。
优选地,所述光检测装置接收光线的方向与光源发出的光线的行进方向形成的夹角为70-110°。
优选地,所述光检测装置接收光线的方向与光源发出的光线的行进方向形成的夹角为90°。
优选地,还包括:
在开启光源及光检测装置后,控制光检测装置以预置的轨迹运动。
本发明通过设置光源及光检测装置的恰当位置,使光检测装置可以仅接收到光源经过玻璃屑发生折射的光线,从而可以快速地检测出基板上是否存在玻璃屑。
附图说明
图1是本发明基板检测装置一实施例的结构示意图;
图2是本发明基板检测装置中光源照射有玻璃屑的基板后的光线的路径示意图;
图3是本发明基板检测方法一实施例的流程示意图;
图4是本发明基板检测方法另一实施例的流程示意图。
本发明目的的实现、功能特点及优点将结合实施例,参照附图做进一步说明。
具体实施方式
以下结合说明书附图及具体实施例进一步说明本发明的技术方案。应当理解,此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明,并不用于限定本发明。
图1是本发明提出的一种基板检测装置一实施例的结构示意图。
参照图1,该基板检测装置包括光源1、光检测装置2,其用于检测基板3,所述光源1、光检测装置2均设置在基板3的同一侧,且所述光源1发出的光线的行进方向与基板3呈夹角设置,所述光检测装置2接收光线的方向与光源1发出的光线的行进方向呈夹角设置。
上述基板检测装置,在光源1发出的光线,遇到其他杂质,可能会反射或被吸收;而遇到玻璃屑时则会发生折射,如图2所示。因此,将光检测装置2设置在适当的位置,即使其仅能接收到经过玻璃屑发生折射后的光线,而不能接收经基板3或其他杂质发生反射的光线,从而可以快速检测出基板3上是否有玻璃屑。
上述光源1发出的光线的行进方向与基板3的夹角为0-90°,光检测装置2接受光线的方向与基板3的夹角为0-90°。上述光源1发出的光线的行进方向与光检测装置2接收光线的方向形成的夹角为70-110°。其中,该夹角优选为90°。
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