[发明专利]过滤器的检查方法以及过滤器的检查装置

权利要求书

1.一种过滤器的检查方法，其特征在于，包括：

加湿工序，其使多孔质的过滤器内通过加湿空气；

检测工序，其向经过所述加湿工序而处于潮湿状态的所述过滤器的内部导入水粒子，检测通过所述过滤器的所述内部再流出的所述水粒子，以检测所述过滤器的缺陷。

2.一种过滤器的检查方法，其特征在于，

在所述加湿工序中，因所述加湿空气中所含有的水分而使得所述过滤器的质量增加，其增加量为所述过滤器的每1升体积增加0.05g～600g的质量。

3.如权利要求1或2所述的过滤器的检查方法，其特征在于，

在所述加湿工序中，一边使所述过滤器的第一端侧暴露于所述加湿空气、一边从与所述过滤器的第一端侧相对的第二端侧吸引所述加湿空气。

4.如权利要求1或2所述的过滤器的检查方法，其特征在于，

在所述加湿工序中，从所述过滤器的第一端侧压入所述加湿空气。

5.如权利要求1～4中的任意一项所述的过滤器的检查方法，其特征在于，

一边在所述加湿工序中使一个所述过滤器内通过所述加湿空气、一边在所述检测工序中对已经经过所述加湿工序的其它的所述过滤器检测缺陷。

6.一种过滤器的检查装置，其特征在于，包括：

加湿单元，其使多孔质的过滤器内通过加湿空气；

检测单元，向由所述加湿单元而通过所述加湿空气以处于潮湿状态的所述过滤器的内部导入水粒子，对通过所述过滤器的所述内部并流出的所述水粒子进行检测，以检测所述过滤器的缺陷。

7.如权利要求6所述的过滤器的检查装置，其特征在于，

所述加湿单元因所述加湿空气中所含有的水分使所述过滤器的质量增加，其增加量为过滤器的每1升体积增加0.05g～600g的质量。

8.如权利要求6或7所述的过滤器的检查装置，其特征在于，

所述加湿单元一边使所述过滤器的第一端侧暴露于所述加湿空气、一边从与所述过滤器的第一端侧相对的第二端侧吸引所述加湿空气。

9.如权利要求6或7所述的过滤器的检查装置，其特征在于，

所述加湿单元从所述过滤器的第一端侧压入所述加湿空气。

10.如权利要求6～9中的任意一项所述的过滤器的检查装置，其特征在于，

一边所述加湿单元使一个所述过滤器内通过所述加湿空气、一边所述检测单元对其它的所述过滤器进行缺陷检测。

11.一种过滤器的检查装置，其特征在于，包括：

加湿空气供给部，该加湿空气供给部具有：调制加湿空气的第一加湿器，和与所述第一加湿器连通、存储所述第一加湿器所供给的所述加湿空气、并将所述加湿空气排出的加湿空气储存用腔室；

检测部，该检测部具有：产生悬浮水微粒子的水蒸气、将所述水蒸气排出的水粒子导入部，和设于与所述水粒子导入部相对的位置、对所述水微粒子进行测定分析的测定部；

输送部，其将所述过滤器从所述加湿空气供给部输送到所述检测部，

所述加湿空气供给部将从所述加湿空气储存用腔室所排出的所述加湿空气导入到多孔质的过滤器内，并使所述加湿空气通过所述过滤器内，以使所述过滤器为潮湿状态，

所述检测部中，一边由所述水粒子导入部向处于潮湿状态的所述过滤器的内部导入所述水蒸气，一边由所述测定部对通过所述过滤器的内部再流出的所述水蒸气中所含有的所述水微粒子进行测定、分析，以检测所述过滤器的缺陷。

12.如权利要求11所述的过滤器的检查装置，其特征在于，

所述加湿空气供给部使得因所述加湿空气中所含有的水分而使所述过滤器的质量增加以使所述过滤器为潮湿状态，其增加量为所述过滤器的每1升体积增加0.05g～600g的质量。

13.如权利要求11或12所述的过滤器的检查装置，其特征在于，

包括：设于与所述加湿空气储存用腔室相对的位置的、对通过所述过滤器内的所述加湿空气进行吸引的吸引部，

一边由所述加湿空气储存用腔室从所述过滤器的第一端侧向所述过滤器内导入所述加湿空气，一边由所述吸引部从与所述过滤器的所述第一端侧相对的第二端侧吸引通过所述过滤器内的所述加湿空气。