[发明专利]一种MEMS扫描微镜光谱仪工作电路

权利要求书

1. 一种MEMS扫描微镜光谱仪工作电路，其特征在于；所述工作电路包括振荡信号模块、MEMS微镜驱动控制模块和光谱数据采集模块；

其中所述光谱数据采集模块包括探测器的前置放大电路、AD转换电路，FIFO存储器、FPGA控制电路和USB接口电路；

所述振荡信号模块的输出端与MEMS微镜驱动控制模块的输入端相连，向所述MEMS微镜驱动控制模块输入具有特定频率的振荡信号，该振荡信号经MEMS微镜驱动控制模块进行信号处理后分为两路，一路为MEMS扫描微镜提供驱动信号，另一路为光谱数据采集模块中的AD转换电路提供周期性触发信号；

当所述光谱数据采集模块中的AD转换电路接收到所述MEMS微镜驱动控制模块输出的周期性触发信号后开始工作，把由探测器输出、经前置放大电路放大的模拟光谱信号转换为数字光谱信号，并输送到FIFO存储器中；

所述FPGA控制电路控制FIFO存储器中的光谱数据，通过USB接口电路传送给PC机或笔记本电脑，实现光谱数据的采集。

2. 根据权利1所述扫描微镜光谱仪的工作电路，其特征在于：所述的振荡信号模块作为信号源，为MEMS微镜驱动控制模块提供周期性振荡信号。

3. 根据权利1所述MEMS扫描微镜光谱仪的工作电路，其特征在于：所述MEMS微镜驱动控制模块为MEMS扫描微镜提供频率稳定的周期性驱动信号，同时，MEMS扫描微镜工作过程中产生的反馈信号输入至所述MEMS微镜驱动控制模块，对MEMS微镜驱动控制模块输出至MEMS扫描微镜的驱动信号进行调整，使MEMS扫描微镜能够在特定的振动频率下等幅振动，实现对MEMS扫描微镜的闭环控制。

4. 根据权利1所述MEMS扫描微镜光谱仪的工作电路，其特征在于：光谱数据采集模块中FPGA控制电路为FPGA可编程逻辑控制器件。

5.根据权利要求4所述MEMS扫描微镜光谱仪的工作电路，其特征在于：光谱数据采集模块中FPGA控制电路可用ARM或单片机代替。