[发明专利]悬臂的振动特性测定方法

权利要求书

1.一种悬臂的振动特性测定方法，其中，

扫描型探头显微镜设有：悬臂、使所述悬臂振动的施振部、向所述施振部供给施振信号的施振信号发生器、对所述悬臂的位移进行检测的位移检测器、将从位移检测器输出的表示位移的振幅的交流信号转换为直流的电平信号的交流-直流转换机构、以及测定与施振频率对应的悬臂位移振幅的频率/振动特性检测机构，

在所述扫描型探头显微镜中，由施振信号发生器在包含悬臂的谐振频率的范围的频带中发生往复的扫频信号，由施振部使所述悬臂振动，计测去路和回路各自的振幅最大值的频率，检测其中间值作为悬臂的谐振频率。

2.根据权利要求1所述的悬臂的振动特性测定方法，其中，

通过反复进行1次以上的如下操作来检测悬臂的谐振频率：以所述检测到的谐振频率为基准，在比包含该谐振频率的所述频带窄的范围的新频带中，新发生往复的扫频信号，由施振部使所述悬臂振动，新计测去路和回路各自的振幅最大值的频率，检测其中间值作为悬臂的新谐振频率。

3.根据权利要求1所述的悬臂的振动特性测定方法，其中，

由施振信号发生器在包含所述悬臂的一次谐振频率和该一次谐振频率的大约6.3倍附近的二次谐振频率的范围的频带中发生往复的扫频信号，由施振部使所述悬臂振动，计测去路和回路各自的低频侧的振幅最大值的频率，检测其中间值作为悬臂的一次谐振频率，计测位于一次谐振频率的6.3倍附近的去路和回路各自的振幅最大值的频率，检测其中间值作为悬臂的二次谐振频率。

4.根据权利要求3所述的悬臂的振动特性测定方法，其中，

通过反复进行1次以上的如下操作来检测悬臂的一次谐振频率和二次谐振频率：以所述检测到的一次谐振频率和该一次谐振频率的大约6.3倍附近的二次谐振频率为基准，对于范围比包含所述检测到的一次谐振频率的所述频带窄的新频带的一次谐振频率的测定、以及范围比包含所述检测到的二次谐振频率的所述频带窄的新频带的二次谐振频率的测定，新发生往复的扫频信号，由施振部使所述悬臂振动，在一次谐振频率的测定和二次谐振频率的测定中，新计测去路和回路各自的振幅最大值的频率，检测其中间值作为悬臂的新的一次谐振频率和二次谐振频率。

5.根据权利要求3所述的悬臂的振动特性测定方法，其中，

在无法检测所述一次谐振频率的6.3倍附近的二次谐振频率的情况下，判断为该检测到的一次谐振频率是误测定。