[发明专利]一种用于超精密测量机转台的调心调平装置

权利要求书

1.一种用于超精密测量机转台的调心调平装置，其特征在于，包括转台下静压盘(1)、若干调平装置、调心装置和万向调平板(10)；

转台下静压盘(1)顶部设有凹球面(110)和若干对称排布的凹槽；

万向调平板(10)的下部设有凸球面(101)和锥形斜面(102)；万向调平板(10)安装于转台下静压盘(1)顶部，万向调平板(10)的凸球面(101)与转台下静压盘(1)的凹球面(110)相配合；

调平装置包括调平定位盘(2)、调平螺杆(5)、调平滑轮(6)、调平滑轮轴(7)和调平支座(8)；调平支座(8)安装在转台下静压盘(1)上对应的凹槽中，可沿着转台下静压盘(1)的凹槽移动；调平滑轮轴(7)将调平滑轮(6)连接到调平支座(8)上；调平螺杆(5)与调平支座(8)螺纹配合；

调心装置包括若干调心顶丝(3)和转台台面(4)；转台台面(4)的下安装面直接安装在万向调平板(10)上；转台台面(4)的侧面对称设置有若干螺纹通孔，若干调心顶丝(3)设置于对应的螺纹通孔中并与转台台面(4)螺纹连接。

2.根据权利要求1所述的一种用于超精密测量机转台的调心调平装置，其特征在于，调平螺杆(5)的头部截面呈梯形，调平定位盘(2)压住调平螺杆(5)的头部，然后通过螺栓紧固于下支撑盘(1)上，使调平螺杆(5)只能转动，而不能轴向移动。

3.根据权利要求1所述的一种用于超精密测量机转台的调心调平装置，其特征在于，万向调平板(10)的侧周设有圆周面(103)，若干调心顶丝(3)的尖端穿过对应的螺纹通孔抵持所述圆周面(103)。

4.根据权利要求1所述的一种用于超精密测量机转台的调心调平装置，其特征在于，调心装置还包括定位芯轴(9)，转台台面(4)的顶端设有供定位芯轴(9)配合安装的中心孔；定位芯轴(9)顶部设有定位孔。

5.根据权利要求1所述的一种用于超精密测量机转台的调心调平装置，其特征在于，调平滑轮(6)支承万向调平板(10)的锥形斜面(102)；调平滑轮(6)可以沿锥形斜面(102)滑动，带动万向调平板(10)倾斜运动。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的一种用于超精密测量机转台的调心调平装置，其特征在于，若干调平装置中心对称的设置于转台下静压盘(1)上；若干调心顶丝(3)中心对称的设置于转台台面(4)的圆周上。

7.根据权利要求6所述的一种用于超精密测量机转台的调心调平装置，其特征在于，所述调心调平装置包括四个调平装置和四个调心顶丝(3)。

8.根据权利要求1所述的一种用于超精密测量机转台的调心调平装置，转台下静压盘(1)顶部的凹球面(110)和万向调平板(10)下部的凸球面(101)相互配研，形成一对球面接触副。