[发明专利]用于沉积膜的方法和设备

权利要求书

1.一种用于在衬底上沉积墨的设备，所述设备包括：

腔室，其用于容纳墨；

排放喷嘴，所述排放喷嘴具有入口端口和出口端口，所述排放喷嘴在所述入口端口处接收来自所述腔室的一定量的墨，并从所述出口端口排放所述一定量的墨；以及

分配器，所述分配器用于对从所述腔室到所述排放喷嘴的所述入口端口的所述一定量的墨进行计量，

其中，所述腔室容纳呈液体形式的墨，所述呈液体形式的墨具有位于载液中的多个悬浮颗粒，并且所述排放喷嘴蒸发所述载液，并将基本上为固体的颗粒沉积在所述衬底上。

2.根据权利要求1所述的设备，进一步包括壳体，所述壳体用于容纳所述腔室和所述排放喷嘴。

3.根据权利要求2所述的设备，其中，所述壳体限定所述腔室与所述排放喷嘴之间的导管。

4.根据权利要求2所述的设备，进一步包括输送管，其用于将气体引入所述壳体中。

5.根据权利要求1所述的设备，进一步包括墨贮存器，其与所述腔室以流体方式连通。

6.根据权利要求1所述的设备，其中，所述分配器进一步包括加热器，所述加热器用于对所述一定量的墨进行计量。

7.根据权利要求1所述的设备，其中，所述分配器进一步包括压电元件，所述压电元件用于对所述一定量的墨进行计量。

8.根据权利要求1所述的设备，其中，所述分配器通过以第一频率输送能量脉冲来计量一定量的液体墨。

9.根据权利要求1所述的设备，其中，所述排放喷嘴进一步包括多个导管，所述导管从所述入口端口延伸到所述出口端口，所述多个导管在所述入口端口处接收呈液体形式的墨，并从所述出口端口分配基本上为固体形式的多个颗粒。

10.根据权利要求1所述的设备，其中，所述排放喷嘴进一步包括多个导管，其由多个分隔物分隔开，每个导管的开口表面面积W保持1/20000＜W/D＜1/4的关系，其中，D是所述排放喷嘴的入口端口的表面面积。

11.一种用于在衬底上沉积墨的方法，所述方法包括：

以第一频率进行激励，从而对到达排放喷嘴的一定量的墨进行计量，所述墨由载液中的多个固体颗粒来限定；

在所述排放喷嘴处接收经过计量的、所述一定量的墨，并且蒸发经过计量的、所述一定量的墨中的载液，以提供一定量的固体颗粒；

对来自所述排放喷嘴的固体颗粒进行分配，并且将所述固体颗粒沉积在所述衬底上，以及

其中，在从所述排放喷嘴排放期间，所述固体颗粒的至少一部分被转换成气相，并且以蒸气的形式被导向所述衬底，然后以基本上为固体的形式冷凝在所述衬底的表面上。

12.根据权利要求11所述的方法，其中，对所述一定量的墨进行激励的步骤还包括：用多个热脉冲来加热所述一定量的墨。

13.根据权利要求11所述的方法，其中，对所述一定量的墨进行激励的步骤还包括：激活压电元件，以计量所述一定量的墨。

14.根据权利要求13所述的方法，其中，通过以第一频率提供能量脉冲来激活所述压电元件。

15.根据权利要求11所述的方法，其中，从所述排放喷嘴分配所述基本上为固体的墨颗粒的步骤进一步包括：

提供从所述排放喷嘴的入口端口延伸到所述排放喷嘴的出口端口的多个导管，所述多个导管在所述入口端口处接收所述多个固体颗粒和所述载液，并且对将要从所述出口端口分配的、基本上为固体形式的所述墨进行加热。

16.根据权利要求11所述的方法，其中，从所述排放喷嘴分配基本上为固体形式的、所述一定量的墨的步骤进一步包括：

提供具有由多个分隔物分隔开的多个导管的排放喷嘴，每个所述导管的开口表面面积W保持1/20000＜W/D＜1/4的关系，其中，D是所述排放喷嘴的入口端口的表面面积。

17.根据权利要求11所述的方法，其中，所述固体墨颗粒基本上没有溶剂。