[发明专利]片状元件夹持装置及其方法

说明书

技术领域

本发明关于一种片状元件夹持装置及其方法；具体而言，本发明关于一种片状元件夹持装置及其方法，片状夹持装置具有双面同时进行蚀刻的功能。

背景技术

薄板蚀刻广泛应用于半导体、显示电子等领域。随着家电设备尺寸大型化，以及蚀刻制作细微化，如何提升蚀刻的精密度成为一主要的课题。提升蚀刻精密度主要有化学溶液的选择、制作夹具的改进等方式。

图1为传统薄板夹持装置示意图。如图1所示，传统薄板夹持方式须搭配一输送带12及磁铁20，将金属薄板14夹持。当制作加工作业进行时，为配合湿制作需求，输送带12及磁铁20设置于金属薄板14的一面，同时另一面进行化学蚀刻。金属薄板14表面具有阻挡层16及开口18以形成所需的蚀刻图形。

然而，使用如图1所示传统薄板夹持装置无法双面同时进行化学蚀刻，此外，仅利用磁铁20吸附的方式无法提供金属薄板14均匀的张力，在较精密蚀刻时便会影响产品良品率，故金属薄板14的表面平整度亦是需要克服的问题之一。

发明内容

本发明的一目的在于提供一种片状元件夹持装置，具有双面同时进行蚀刻的功能。

本发明的另一目的在于提供一种片状元件夹持装置，具有可调整张力的功能。

片状元件夹持装置主要包含支撑架、第一夹持部及第二夹持部。支撑架具有相对设置的第一支臂及第二支臂，同时提供第一夹持部及第二夹持部旋转时的支撑力。第一夹持部包含成对设置的第一旋转连接部及第一夹持杆。第一旋转连接部的两端各有一固定块设置于支撑架与第一旋转连接部之间。第二夹持部包含成对设置的第二旋转连接部及第二夹持杆。第二旋转连接部的两端各有一滑动块设置于支撑架与第二旋转连接部之间。第一旋转连接部可与第一夹持杆平行旋转，同时第二旋转连接部可与第二夹持杆平行旋转，且旋转方向与第一夹持部相反。

本发明的有益功效在于：藉由本发明的片状元件夹持装置，给予片状元件可调整的张力，使片状元件保持平整且片状元件的四周不会阻挡化学溶液，可顺利排除化学溶液，同时达到片状元件上下两面同时进行湿制作的目的，从而提高湿制作的排水性，并改善制程品质。

附图说明

图1为传统薄板夹持装置示意图；

图2A至图2D为本发明片状元件夹持装置的实施例示意图；

图3为本发明滑动装置的俯视图；

图4A与图4B为本发明迫紧单元的侧视图；

图5为片状元件夹持装置的实施例剖面图；

图6为片状元件夹持方法的实施例流程图；

图7为片状元件夹持装置的另一实施例剖面图；

图8为片状元件夹持装置的另一实施例剖面图。

其中，附图标记

100片状元件夹持装置

102支撑架

104第一支臂

106第二支臂

210第一夹持部

211第一夹持面

212第一旋转连接部

213第一夹持杆

214固定块

220第二夹持部

221第二夹持面

222第二旋转连接部

223第二夹持杆

224滑动块

225支撑块

226调整单元

2261弹簧

2262轴体

2263螺丝

240迫紧单元

250滑槽

260转柄

270片状元件锁附单元

280倒角

300片状元件

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本发明技术方案进行详细的描述，以更进一步了解本发明的目的、方案及功效，但并非作为本发明所附权利要求保护范围的限制。