[发明专利]一种实现太阳能电池湿法边缘绝缘的方法无效
申请号: | 201210084114.X | 申请日: | 2012-03-28 |
公开(公告)号: | CN102623560A | 公开(公告)日: | 2012-08-01 |
发明(设计)人: | 曾庆云;梅晓东;冯亚超;郑金彩;刘焕久 | 申请(专利权)人: | 浙江晶科能源有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18 |
代理公司: | 浙江杭州金通专利事务所有限公司 33100 | 代理人: | 吴关炳 |
地址: | 314416 浙江省嘉兴*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 实现 太阳能电池 湿法 边缘 绝缘 方法 | ||
【权利要求书】:
1.一种实现太阳能电池湿法边缘绝缘的方法,其特征在于:包括以下步骤:
第一步,在氢氟酸槽内加入氢氟酸液使滚轮部分浸入氢氟酸液中,滚轮在转动时其细小凹槽内带有适量的氢氟酸液;将硅片置于滚轮上,通过滚轮转动,利用氢氟酸去除硅片背面及边缘的磷硅玻璃,保留硅片正表面的磷硅玻璃;
第二步,去除硅片背面及边缘的磷硅玻璃后,采用上风刀吹干渗到正表面上来的少许氢氟酸液;
第三步,进入刻蚀槽,采用氢氟酸与硝酸的混合溶液腐蚀硅片背面及边缘PN结。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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