[发明专利]一种校正干涉仪成像系统畸变的方法有效
| 申请号： | 201210086778.X | 申请日： | 2012-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN102607408A | 公开（公告）日： | 2012-07-25 |
| 发明（设计）人： | 闫锋涛;范斌;侯溪;伍凡;万勇建 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人： | 许玉明;贾玉忠 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 校正 干涉仪 成像 系统 畸变 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种校正干涉仪成像系统畸变的方法，其特征在于：其包括干涉仪(1)、被测件(2)、调整机构(3)及计算机系统(4)，其中计算机系统(4)与干涉仪(1)连接，被测件(2)通过调整机构(3)进行调节，使干涉仪(1)获得被测件(2)上有相互重叠区域的子区域，最后由安装在计算机系统(4)上的数据处理软件对所得到的子区域数据进行处理，获得干涉仪的成像系统畸变系数及降低畸变所带来的测量误差后的面形分布信息，从而校正干涉仪的成像畸变及获得更高精度的面形分布信息。
2.根据权利要求1所述的一种校正干涉仪成像系统畸变的方法，其特征在于：该校正方法不仅能够用于干涉仪成像系统畸变的校正，也能用于能获得镜面面形信息的其它成像系统畸变的校正。
3.根据权利要求1所述的一种校正干涉仪成像系统畸变的方法，其特征在于：该校正方法使用2个或者2个以上的子区域，其子区域包含整个被测件的工作面。
4.根据权利要求1所述的一种校正干涉仪成像系统畸变的方法，其特征在于：被测件的子区域面形信息不仅能够通过直接自准直获得，还能够通过一些辅助元件得到。
5.根据权利要求1所述的一种校正干涉仪成像畸变的方法，其特征在于：被测件的子区域口径大小相同或不同，只要满足被测件的子区域有足够的重叠区域，且重叠区域上有明确的标记点或者镜面面形信息特征。
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