[发明专利]可见-近红外激光束多参数数字化测量仪

权利要求书

1.一种可见-近红外激光束多参数数字化测量仪，其特征在于：该测量仪由耦合装置(1)、工作距程控调整装置(2)、衰减装置(3)、探测装置(4)、分光装置(5)、光源指示装置(6)、防护罩(7)以及底座(8)组成的检测系统(A)，和由PC机及分析软件组成的计算机系统(B)两大部分组成，该测量仪适用于小功率半导体激光器、He-Ne激光器、固体激光器及其它小功率可见——近红外波段激光器的参数检测，如：光斑大小、束散角、光强度分布、模式及M²因子等参数。除此之外还可以对具有激光指示功能的光电仪器，如激光指示器、激光水准仪、激光标线仪、激光测距仪、带激光指示的经纬仪、全站仪等多轴光电仪器有关参数进行测量，如：光斑走动量、光斑调整范围、光斑偏离(轴)量、多轴一致性等参数进行测量。

2.根据权利要求1所述的测量仪，其特征在于：该测量仪耦合装置(1)中的反射棱镜与分光棱镜间距可调，因此，对于不同的被测多轴仪器，其瞄准轴与激光发射轴的间距不等，可通过该测量仪的调整实现检测，通用性强。

3.根据权利要求1所述的测量仪，其特征在于：该测量仪具有适用于焦斑法的激光束参数检测的工作距程控调整装置(2)。对于不同的被测对象，其被测波长不同，故其工作距不同，该测量仪通过滚动丝杆传动形式，辅助高精度导轨实现工作距的程控调整，提高检测的精度。

4.根据权利要求1所述的测量仪，其特征在于：该测量仪在CCD相机接收光斑之前，设置衰减装置(3)。该衰减装置采用偏振原理，利用蜗轮蜗杆机械传动实现偏振片旋转，并用计算机控制电机实现程控光强度衰减。

5.根据权利要求1所述的测量仪，其特征在于：该测量仪采用可见及红外两个CCD相机进行激光光斑的接收，利用分光棱镜进行分光，并设有微调装置，CCD相机置于物镜的焦平面处，用于记录光斑的特征情况，检测波谱范围300nm-1700nm。

6.根据权利要求1所述的测量仪，其特征在于：该测量仪采用三角基座、平面分光镜及相关的微调装置组成分光装置(5)，此处设有激光器，起激光指示作用，实现瞄具的粗对准，使检测对准更加方便快捷。

7.根据权利要求1所述的测量仪，其特征在于：该测量仪为实现多轴仪器，特别是带有望远系统的仪器对准功能，设有模拟无穷远目标的光源指示装置(6)，为被测系统提供一个无穷远的目标，在光源指示装置(6)中的十字分划与被测系统中的十字分划相重合时，实现瞄具的精确对准。