[发明专利]激光成像扫描式光栅位移传感器无效
| 申请号： | 201210086911.1 | 申请日： | 2012-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN102636122A | 公开（公告）日： | 2012-08-15 |
| 发明（设计）人： | 杜金昌 | 申请（专利权）人： | 杜金昌 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 610045 四川省成都市武侯区晋*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 激光 成像 扫描 光栅 位移 传感器 | ||
【权利要求书】：
1.激光成像扫描式光栅位移传感器，该传感器用于测量直线位移；特征在于，传感器采用光源为发散角小于0.5°的平行光源。
2.如权利要求1所述平行光源，特征在于，平行光源输出的光束通过与其成45°夹角的反射镜反射后，垂直射入主尺、标尺。
3.如权利要求1所述平行光源，特征在于，采用单光源方式，通过光传播方向纵向排列的部分反射镜与全反射镜对单束光分成多束光，垂直射入主尺、标尺。
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