[发明专利]高电压检查装置

说明书

技术领域

本发明涉及利用检查ESD耐受性的ESD试验装置对例如LSI元件及LED元件及激光元件等发光元件等检查对象器件进行高电压施加检查的高电压检查装置。

背景技术

目前，在LSI元件中，在输入电路侧连接有保护二极管，检查保护二极管的ESD耐受性。在LED元件及激光元件等发光元件中，发光元件自身具有二极管构造。该二极管构造由p型扩散层和n型扩散层的pn结构成，因此ESD耐受性因p型扩散层和n型扩散层的结果而不同，因此需要全数检查ESD耐受性。

现有的ESD施加所必需的基本ESD电路由符合高压电源和ESD标准(HBM(人体模型)、MM(机器模型)等)的高压电容器、施加电阻及使用水银的高耐压继电器构成。

ESD电路的施加输出部分利用将用于连接到器件的端子的接触探针固定搭载于基板的探针卡片及将该接触探针固定于臂的机械手等，对检查对象的器件通电。

向检查对象器件的供给电压的大小以可靠性检查中代表的ESD试验(静电放电可靠性试验)等为对象，且以约1～10KV水平的高电压为对象。对来自人体及机械的静电流到LSI芯片等检查对象器件时的耐久性进行试验。

图21是示意性表示现有ESD试验装置的构成例的电路图。

在图21中，现有ESD试验装置100的高压电源101的一端子通过高耐压继电器102、103而与施加电阻104的一端连接。该施加电阻104的另一端与检查对象器件105的一端子连接。器件105的另一端子与高压电源101的另一端子连接。这两个高耐压继电器102、103的连接点通过高压电容器106而与器件105的另一端子和高压电源101的另一端子的连接点连接，该连接点接地。设有对这两个高耐压继电器102、103的通/断进行控制的定时控制器107。另外需要用于驱动这两个高耐压继电器102、103的电源。

根据上述构成，首先，通过定时控制器107，充电用高耐压继电器102接通，来自高压电源101的电流蓄积于高压电容器106。此时，放电用高耐压继电器103通过定时控制器107设为断开状态。

其次，通过定时控制器107，充电用高耐压继电器102断开，然后控制放电用高耐压继电器103，使其接通。由此，蓄积于高压电容器106的高电压从高耐压继电器103通过施加电阻104而施加于检查对象器件105的一端子。

这样，能够通过定时控制器107对这两个充电用高耐压继电器102、放电用高耐压继电器103进行通/断切换，而使高压电容器106充电或放电，并对检查对象器件105施加规定的高电压。充电用高耐压继电器102、放电用高耐压继电器103的切换动作通过定时控制器107以规定的定时来进行。ESD试验通过数种施加模型和分别规定了标准且施加于检查对象器件105的电流波形(或电压波形)来判断是否适合。

总而言之，ESD试验从高压电源经由ESD施加电路，进而经由插座、臂等接触夹具，对检查对象器件施加高电压。使高电压的供给源侧端子(一根)和GND侧端子(一根)与检查对象器件的各端子接触，对检查对象器件施加高电压。在这种情况下，检查对象器件以单体进行高电压施加处理。虽然具有可将检查对象器件制成多组的装置，但实际的ESD试验是串行地变换端子进行处理。这在专利文献2中有所公开。与此相对，批量生产且进行ESD试验的技术在专利文献1中有所公开。

图22是示意性表示专利文献1公开的现有ESD试验装置的构成例的立体图。

图22中，作为现有ESD试验装置的静电放电试验用夹具200在对安装有电子器件201的印刷电路配线板202进行静电放电试验时，利用下面的试验用夹具，在一次试验中，对多块印刷电路配线板202同时施加静电。在作为被试验对象物的载置台而准备的导电板203的板上一角上设定静电施加点，然后从其静电施加点起分别在每隔等距离的位置放射状地并列分散配备多个印刷电路板支承件204，所述多个印刷电路板支承件204，将印刷电路配线板202支承为立起姿势。另外，包括枪保持件206，用于将静电发生枪205的位置与静电施加点对其设置。将印刷电路配线板202一块一块地以在其配线图案202a与导电板203导通接触那样的方向上立起的姿势装载于各印刷电路板支承件204，在该状态下，从静电发生枪205在静电施加点放静电。由此，从静电发生枪205经由导电板203对载置于板上的多块各印刷电路配线板202一并施加静电。因此，在一次试验中，能够对多块印刷电路配线板202同时施加静电，从而实现准备时间的缩短化。

专利文献1：特开2005-201706号公报