[发明专利]一种新型高精度外差激光测振仪

权利要求书

1.一种外差激光测振仪，包括:

激光源，被配置为生成激光束；

光学组件，被配置为将所生成的激光束分为参考光和测量光，将测量光投射到被测对象上并接收从被测对象反射的、具有第一频移的测量光，将参考光频移达第二频率值，随后对从被测对象反射的测量光和频移了的参考光进行干涉以生成干涉光；

光电转换器，被配置为将所述干涉光转换为电测量信号；

混频器，被配置为将所述电测量信号与具有第三频率的外部振荡信号进行混频以获得混频信号；

数字转换器，被配置为将所述混频信号转换为数字信号；以及

数字运算单元，被配置为对所述数字信号进行数字运算以获得有关被测对象的振动信息，以及

鉴频器，耦接到所述数字转换器，以从所述数字信号中鉴别出所述第一频移，其中所述外部振荡信号基于所鉴别出的第一频移而生成。

2.如权利要求1所述的外差激光测振仪，还包括本振信号发生器，被配置为接收所述鉴频器鉴别出的第一频移来生成所述第三频率的外部振荡信号，其中所述第三频率的值被设置为第一频移和预定系数的乘积与第二频率之和，以及所述预定系数为大于1的预设值。

3.如权利要求2所述的外差激光测振仪，还包括晶振源，用于提供所述具有第二频率的晶振信号，其中所述第二频率的晶振信号被同时提供给所述光学组件和所述本振信号发生器。

4.如权利要求2或者3所述的外差激光测振仪，其中所述预定系数为2。

5.如权利要求2或者3所述的外差激光测振仪，其中所述第二频率为40MHz。

6.如权利要求1-5中任一个所述的外差激光测振仪，还包括低通滤波器，耦接到所述混频器，以便对所述混频信号进行低通滤波以去除所述混频信号的高频部分，并将经过滤波的混频信号发送给所述数字转换器。

7.如权利要求1-6中任一个所述的外差激光测振仪，其中所述光学部件包括：

第一分光仪，被配置为将所生成的激光束分为参考光和测量光；

物镜，被配置为将测量光投射到具有被测对象上并接收从被测对象反射的测量光；

声光调制器，由所述具有第二频率的晶振信号驱动来对所述参考光进行频移；以及

第二分光仪，被配置为对由物镜接收的反射测量光和由声光调制器频移后的参考光进行干涉以生成干涉光。