[发明专利]石英拼接产品的制造方法及产品

权利要求书

1.石英拼接产品的制造方法，它包括以下步骤：

①拼接前准备：包括依次进行的切割、研磨、浸泡、清洗、退火、精磨、再退火；

所述切割是使用石英光学研磨切割机采用油砂混合切割工艺把石英砣料切割成石英片；所述研磨是采用烫钻金刚砂对石英片进行研磨；所述浸泡是采用浓度为5～15wt﹪的氢氟酸对石英片进行浸泡；所述清洗是采用去离子水对石英片进行清洗；所述精磨是通过平面磨床处理使石英片的厚度控制在0.05㎜范围内，得到精磨石英片；

②拼接处理：在经过再退火处理的精磨石英片之间采用焊接工艺进行拼接，得到初步产品；拼接过程中采用石墨夹具作为平台，采用分步拼接的方法进行作业；

③拼接处的处理：对所述初步产品的拼接处依次用电镀铁砂轮片、树脂砂轮、金刚石软磨片进行打磨，金刚石软磨片的粒度为150～3000。

2.根据权利要求1所述的石英拼接产品的制造方法，其特征在于，它还包括以下步骤：

④整体的退火：将经过步骤③处理的初步产品，进行整体退火；整体退火处理时，采用石墨工装治具为退火介质，将所述初步产品附在所述石墨工装治具上进行退火；

⑤弧度和钻孔加工：采用数控加工中心对经过步骤④处理的初步产品进行整体的弧度加工和钻孔加工，得成型产品；

⑥终成型处理：在最终成品的处理上，使用碳化硅在所述成型产品表面进行喷砂作业，所述喷砂作业是通过喷枪在所述成型产品的内外表面去除30～60微米的石英层。

3.根据权利要求1所述的石英拼接产品的制造方法，其特征在于，它还包括以下步骤：

④整体的退火：将经过步骤③处理的初步产品，进行整体退火；整体退火处理时，采用石墨工装治具为退火介质，将所述初步产品垂直放在所述石墨工装治具上进行退火。

4.根据权利要求1或2或3所述的石英拼接产品的制造方法，其特征在于：在整体的退火前，采用无纺布蘸取浓度≥99wt%的酒精进行擦拭。

5.根据权利要求1或2或3所述的石英拼接产品的制造方法，其特征在于：所述分步拼接是将经过再退火处理的精磨石英片根据所需尺寸，拼接成所需尺寸的1/2大小，然后进行退火，得到1/2石英片，然后对两个1/2石英片进行拼接。

6.由权利要求2所述的方法制得的产品，其特征在于：所述产品为石英风罩。

7.由权利要求3所述的方法制得的产品，其特征在于：所述产品为大面积石英平板。