[发明专利]基于微光学阵列元件的二维位移测量装置有效
| 申请号： | 201210088617.4 | 申请日： | 2012-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN102607428A | 公开（公告）日： | 2012-07-25 |
| 发明（设计）人： | 卢振武;刘华;王尧;孙强 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人： | 陶尊新 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基于 微光 阵列 元件 二维 位移 测量 装置 | ||
【权利要求书】：
1.基于微光学阵列元件的二维位移测量装置，该装置包括激光器(1)、扩束镜(2)、反射镜(3)、二维参考微光学阵列元件(4)、二维测量微光学阵列元件(5)、聚焦透镜(7)和二维面阵探测器(8)；其特征是，激光器(1)发出的激光光束经扩束镜(2)和反射镜(3)后平行入射至二维参考微光学阵列元件(4)，在所述二维参考微光学阵列元件(4)的焦平面处会聚成点光源，点光源发出的光束经二维测量微光学阵列元件(5)平行入射至聚焦透镜(7)，经聚焦透镜(7)出射的光束在二维面阵探测器(8)上成像。
2.根据权利要求1所述的基于微光学阵列元件的二维位移测量装置，其特征在于，还包括二维位移平台(6)，所述二维测量微光学阵列元件(5)固定在二维位移平台(6)上，随二维位移平台(6)进行运动。
3.根据权利要求1所述的基于微光学阵列元件的二维位移测量装置，其特征在于，二维参考微光学阵列元件(4)和二维测量微光学阵列元件(5)由多个微结构单体(9)密接组成，每个微结构单体(9)为平凸透镜，所述平凸透镜的前表面(10)为球面，平凸透镜的后表面(11)为非球面。
4.根据权利要求3所述的基于微光学阵列元件的二维位移测量装置，其特征在于，所述的多个微结构单体(9)为一体结构或者相互独立的结构。
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