[发明专利]MEMS仿生矢量水听器的桔瓣式封装结构

权利要求书

1.一种MEMS仿生矢量水听器的桔瓣式封装结构，包括用于安置信号处理电路（10）的支撑管（1），支撑管（1）顶部延设有内置引线（11）的缩颈细管（2），缩颈细管（2）的顶部固接有开设中心通孔的支撑盘（3），支撑盘（3）上靠近边缘的位置设有环形卡槽（12），环形卡槽（12）内固接有透声帽（4）；支撑管（1）底部管口内插接有开设电缆通孔的堵头（5），管口外螺纹连接有锁紧螺母（6），其特征在于：透声帽（4）内还设有支撑台（7）、软支架（8）和桔瓣式金属支架（9），支撑台（7）固定在支撑盘（3）上表面中心处，支撑台（7）上开设有轴向的第一引线孔（13）和轴向的注油通孔（14），支撑盘（3）上对应注油通孔（14）的位置开设有相应的注油口（15），注油口（15）内螺纹连接有密封螺钉（16）；软支架（8）固定在支撑台（7）上表面中心处，软支架（8）上表面中心处开设有用于安置四梁-纤毛式敏感体（17）的安装槽（18）、底面中心处设有凸台（19），安装槽（18）内开设有轴向的第二引线孔（20）；桔瓣式金属支架（9）包括连接环（21），连接环（21）上表面垂直固接有呈对称桔瓣状的十字交叉肋板（22），十字交叉肋板（22）底部开设有用于卡接软支架（8）及四梁-纤毛式敏感体（17）的卡接槽（23），十字交叉肋板（22）的相交棱上掏设有一端与卡接槽（23）相通并用于置放四梁-纤毛式敏感体（17）的纤毛（24）的空心柱体（25），空心柱体（25）的侧壁同时也与被十字交叉肋板（22）分割成的四个空间部分相通，四梁-纤毛式敏感体（17）的纤毛（24）置于空心柱体（25）的轴线上，桔瓣式金属支架（9）通过其连接环（21）与支撑台（7）螺纹连接，桔瓣式金属支架（9）的外形与透声帽（4）内表面尺寸形状完全相同，且二者之间紧密粘合，透声帽（4）、桔瓣式金属支架（9）、四梁-纤毛式敏感体（17）、软支架（8）、支撑台（7）之间都紧密结合且无缝隙。

2.根据权利要求1所述的MEMS仿生矢量水听器的桔瓣式封装结构，其特征在于：所述的软支架（8）是采用美国道康宁184硅橡胶通过灌封工艺制备而成。