[发明专利]一种白光干涉方法及其实现系统

权利要求书

1.一种白光干涉方法，其特征在于具体步骤为：使用光纤偏振分束器替代原有Levin干涉系统中的2×2耦合器；同时，使用法拉第旋转器，使返回偏振分束器的光仅从偏振分束器的一个分波端口输出，使得到达探测器的光没有非相干光束，从而消除使用耦合器时存在的非相干光束，提高干涉条纹的对比度。

2.一种白光干涉系统，其特征在于，包括光源，第一光电探测器，第二光电探测器，光纤耦合器，偏振分束器，光纤法拉第旋转反射镜，准直器和待测自由面；其中，光纤耦合器有两个端口即第一端口、第二端口，偏振分束器有两个分波端口即第三端口、第四端口；

系统的光路是：光源发出的光经过光纤耦合器分光后，第一端口分出的光从第三端口经过偏振分束器再通过光纤法拉第旋转反射镜到达准直器，入射到被测靶面，经过被测靶面反射后，被准直器接收，光波重新经过偏振分束器分光后，第四端口的光经过延迟线从第二端口最终进入光纤耦合器形成顺时针方向的相干光，光的路线依次经过：光源、光纤耦合器、第一端口、第三端口、偏振分束器、光纤法拉第旋转反射镜、准直器、被测靶面、准直器、偏振分束器、第四端口、延时光纤、第二端口、光纤耦合器；

另一路相干经过光纤耦合器分光后，先由第二端口通过延时光纤再从第四端口进入偏振分束器，接着经过光纤法拉第旋转反射镜到达准直器，入射到被测靶面，经过被测靶面反射后，被准直器接收，光波重新经过偏振分束器分光后，第三端口的光从第一端口最终进入光纤耦合器形成逆时针方向的相干光，光的路线为：光源、光纤耦合器、第二端口、延时光纤、第四端口、偏振分束器、光纤法拉第旋转反射镜、准直器、被测靶面、准直器、偏振分束器、第三端口、第一端口、光纤耦合器；

两束光在光纤耦合器形成干涉，输出干涉信号。

3.根据权利要求1所述的白光干涉系统，其特征在于，偏振分束器的合波端C的尾纤，法拉第旋转器的输入、输出尾纤，准直器的尾纤，以及它们之间的连接光纤，采用偏振保持光纤。