[发明专利]磷化氢环流消除装置无效

申请号：	201210089347.9	申请日：	2012-03-30
公开（公告）号：	CN102613163A	公开（公告）日：	2012-08-01
发明（设计）人：	崔忠艾;陈宝华;王道波;李苹苹;王华志;王德学;张艳敏;黎海红	申请（专利权）人：	崔忠艾
主分类号：	A01M13/00	分类号：	A01M13/00
代理公司：	青岛发思特专利商标代理有限公司 37212	代理人：	耿霞
地址：	264670 山东省烟台市***	国省代码：	山东;37
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摘要：
搜索关键词：	磷化氢环流消除装置
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【权利要求书】：

1.一种磷化氢环流消除装置，包括磷化氢消除罐(13)和臭氧机(12)，所述磷化氢消除罐(13)内装有水溶液(16)；其特征在于：所述臭氧机(12)通过臭氧输送管(8)与磷化氢消除罐(13)相连；所述磷化氢消除罐(13)的上方连接有进气管(6)和净化气体输送管(5)，所述进气管(6)上设有环流风机(4)。

2.根据权利要求1所述的磷化氢环流消除装置，其特征在于：所述净化气体输送管(5)上设有臭氧消除器(17)。

3.根据权利要求1或2所述的磷化氢环流消除装置，其特征在于：所述进气管(6)上设有截板阀一(7)，所述磷化氢消除罐(13)的上方和下方分别设有截板阀二(9)和截板阀三(14)。

4.根据权利要求1所述的磷化氢环流消除装置，其特征在于：所述磷化氢消除罐(13)的内部设有气体均布器(15)。

5.根据权利要求1或4所述的磷化氢环流消除装置，其特征在于：所述磷化氢消除罐(13)上设有加水管(11)。

6.根据权利要求5所述的磷化氢环流消除装置，其特征在于：所述加水管(11)上设有截板阀四(10)。

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