[发明专利]喷嘴喷出量的修正方法以及液滴的喷出方法

说明书

技术领域

本发明涉及喷嘴喷出量的修正方法、液滴的喷出方法以及有机EL元件的制造方法。

背景技术

以往，公知有一种将包含功能性材料的液状体作为液滴从喷墨头的喷嘴喷出而形成薄膜的液滴喷出法(喷墨法)。作为在液滴喷出法中形成的薄膜的代表例，有滤色器、有机EL面板的发光层。

喷墨头具有存储液状体的多个空腔、与该空腔连通且沿一个方向排列的多个喷嘴、对各空腔内的液状体进行加压的多个致动器(例如压电元件、电阻加热元件等)。喷墨头通过向基于描绘数据而选择出的致动器输入共用的驱动波形信号，从与各致动器对应的喷嘴喷出液状体的液滴。在喷墨法中，通过将液状体作为液滴从喷墨头的喷嘴向基板喷出，并使喷落在基板上的液滴干燥来形成薄膜。

在喷墨法中，期望描绘对象的高精细化，同时还期望灰度表现出色的描绘，例如在专利文献1中公开了一种能够实现灰度表现出色的描绘的液滴喷头的驱动方法。

根据上述液滴喷头的驱动方法，对基于描绘数据而选择的喷嘴而言，致动器被施加与所设定的等级对应的多个不同的驱动波形信号，能够使喷出的液滴的平均重量成为预先规定的指定重量。因此，通过按每个等级生成的驱动波形信号的组合，能够对每个喷嘴较正向对象物上喷出的液状体(液滴)的总重量，可使液状体干燥而得到的薄膜的膜厚均匀性提高。并且，与利用单一的驱动波形信号使液滴喷出的情况相比，通过组合不同的驱动波形信号，相应地能够在上述平均重量的调整时提高其精度，并且能够扩展其自由度。

专利文献1：日本特开2008-136927号公报

但是，在对上述专利文献1所记载的多个液滴的平均重量进行等级划分的液滴喷头的驱动方法中，由于等级划分的灰度受到限制，所以难以充分地修正液滴的重量偏差。

在未充分进行液滴的重量偏差的修正的情况下，重量较大的液滴或重量较小的液滴沿基板的扫描方向连续。因此，由于即便重量较大的液滴和重量较小的液滴的重量差很微小，也会产生滤色器、有机EL面板的发光层等薄膜的膜厚差，在电光学装置的显示中被以高的灵敏度反映，所以存在使画质降低这一课题。

发明内容

本发明为了解决上述课题的至少一部分而提出，能够作为以下的方式或者应用例来实现。

[应用例1]

本应用例涉及的喷嘴喷出量的修正方法是对喷嘴列的每个喷嘴的致动器选择不同的多个驱动波形信号中的1个进行供给，对从上述喷嘴向喷出区域喷出的液滴的重量进行修正的喷嘴喷出量的修正方法，包括：第1步骤，根据未对上述每个喷嘴进行上述液滴的重量修正时向上述喷出区域喷出的全部液滴的重量的合计值A与预先设定的规定量B的差值，以修正后的第1喷嘴列单位或者喷出单位或者扫描单位的上述液滴的重量、和向相同的上述喷出区域喷出的上述第1以外的喷嘴列单位或者喷出单位或者扫描单位的上述液滴的重量的合计值C成为上述规定量B的方式，对每个喷嘴进行上述第1喷嘴列单位或喷出单位或者扫描单位的修正计算；和第2步骤，根据在上述第1步骤中修正后的向上述喷出区域喷出的计算上的全部液滴的重量的合计值D与上述规定量B的差值，以修正后的上述第1喷嘴列单位或者喷出单位或者扫描单位的上述液滴的重量、向相同的上述喷出区域喷出的修正后的第2喷嘴列单位或者喷出单位或者扫描单位的液滴的重量、与向相同的上述喷出区域喷出的上述第1和上述第2以外的喷嘴列单位或者喷出单位或者扫描单位的液滴的重量的合计值E成为上述规定量B的方式，对每个喷嘴进行第2喷嘴列单位或者喷出单位或者扫描单位的修正计算；

阶段性地进行上述喷嘴列单位或者喷出单位或者扫描单位的数量的量的修正量计算。

根据本应用例，由于按照在一个喷嘴列单位或者喷出单位或者扫描单位中喷出区域的全部液滴的重量的合计值A、C成为规定量B的方式进行修正，所以能够使向喷出区域喷出液滴的喷嘴列单位或者喷出单位或者扫描单位的数量的修正灰度以乘方增加。由此，可充分进行每个喷嘴喷出的液滴的重量偏差的修正，能够使利用多个喷嘴在喷出区域形成的薄膜的膜厚均匀化。

[应用例2]

在上述应用例所述的喷嘴喷出量的修正方法中，上述液滴的重量的修正量计算的顺序、和从上述喷嘴向上述喷出区域喷出上述液滴的上述喷嘴列单位或者喷出单位或者扫描单位的顺序不相同。

根据本应用例，由于对实际的液滴的喷出顺序没有限制，所以能够更加灵活地进行喷出，由此，能够对喷出液滴的对象物进行最佳的喷出。

[应用例3]

在上述应用例所述的喷嘴喷出量的修正方法中，优选向相同的上述喷出区域喷出上述液滴的各个上述喷嘴列单位或者喷出单位或者扫描单位中的选择喷嘴不相同。