[发明专利]具有芯片上监视器电路和控制电路的电路装置及对应方法

权利要求书

1.一种电路装置，包括：

多个芯片上监视器电路，所述多个芯片上监视器电路中的每一个被配置为测量半导体芯片的参数；以及

耦合至所述多个芯片上监视器电路的控制器，所述控制器被配置为从所述多个芯片上监视器电路中的至少一个接收测量结果，并根据所述测量结果来控制对所述多个芯片上监视器电路中的另一个芯片上监视器电路的校准。

2.根据权利要求1所述的电路装置，其中，所述多个芯片上监视器电路中的至少两个芯片上监视器电路是相同类型的。

3.根据权利要求1所述的电路装置，其中，所述多个芯片上监视器电路被配置为同时测量所述半导体芯片的参数。

4.根据权利要求1所述的电路装置，其中，所述多个芯片上监视器电路被布置在所述半导体芯片的各个区域中。

5.根据权利要求1所述的电路装置，其中，所述控制器被配置为通过适配所述多个芯片上监视器电路中的所述另一个芯片上监视器电路的设置，来控制校准。

6.根据权利要求1所述的电路装置，其中，所述控制器被配置为在所述测量结果偏离于预定范围的情况下重复校准。

7.根据权利要求1所述的电路装置，其中，所述控制器被配置为在预定时段内从所述多个芯片上监视器电路中的该至少一个接收多个测量结果，并根据所述多个测量结果的组合来控制校准。

8.根据权利要求1所述的电路装置，其中，所述控制器被配置为从所述多个芯片上监视器电路接收多个测量结果，并检测是否所述多个测量结果中的至少一个偏离于预定范围。

9.根据权利要求8所述的电路装置，其中，所述控制器被配置为在所述多个测量结果均未偏离于预定范围的情况下，根据所述多个测量结果的组合，适配所述半导体芯片的参数。

10.一种电路装置，包括：

布置在网络中的多个芯片上监视器电路，所述多个芯片上监视器电路中的每一个被配置为测量半导体芯片的至少一个参数；

耦合至芯片上监视器电路的网络的控制器，所述控制器被配置为从所述多个芯片上监视器电路接收测量结果，并根据对所述测量结果的评估来生成输出；以及

耦合至所述控制器和所述网络的至少一个反馈回路，所述至少一个反馈回路被配置为根据所述输出来控制对所述多个芯片上监视器电路中的至少一个芯片上监视器电路的校准。

11.根据权利要求10所述的电路装置，其中，所述控制器还被配置为根据所述测量结果的组合来适配所述半导体芯片的参数。

12.根据权利要求10所述的电路装置，其中，所述多个芯片上监视器电路中的该至少一个芯片上监视器电路包括校准控制字，并且其中，所述反馈回路被配置为通过根据所述输出适配所述校准控制字来控制校准。

13.根据权利要求10所述的电路装置，其中，所述多个芯片上监视器电路的网络被配置为同时操作。

14.根据权利要求10所述的电路装置，其中，所述多个芯片上监视器电路中的每一个在专用电路块中实现，并且，其中所述控制器在处理器中实现。

15.一种用于监管芯片上监视器电路的方法，所述方法包括：

（a）启动多个芯片上监视器电路中的至少一个芯片上监视器电路的测量，其中，所述多个芯片上监视器电路中的每一个被配置为测量半导体芯片的参数；

（b）启动要监管的芯片上监视器电路的测量，其中，要监管的芯片上监视器电路被配置为测量所述半导体芯片的参数；

（c）对来自所述多个芯片上监视器电路中的该至少一个芯片上监视器电路的至少一个测量结果进行处理；以及

（d）如果来自所述多个芯片上监视器电路中的该至少一个芯片上监视器电路的该至少一个测量结果偏离于预定范围，则将要监管的芯片上监视器电路的测量结果表示为无效。

16.根据权利要求15所述的方法，其中，要监管的芯片上监视器电路被配置为测量与所述多个芯片上监视器电路要测量的参数不同的参数。

17.根据权利要求15所述的方法，其中，要监管的芯片上监视器电路的测量的启动在时间上在所述多个芯片上监视器电路中的该至少一个芯片上监视器电路的测量的启动之后进行。