[发明专利]涂层方法和用于衬底动态定位的部件操纵器及其使用

权利要求书

1.一种用于在热处理工艺中对要处理的衬底(2)进行动态定位的部件操纵器，其中所述部件操纵器包括：能够绕主旋转轴线(3)旋转的主驱动轴(30)、连接元件(4)和能够连接至所述连接元件(4)的衬底保持器(5)，其特征在于，所述连接元件(4)为陶瓷连接元件(4)，所述衬底保持器(5)的连接段(51)借助于插塞旋转连接相对于所述插塞旋转连接的连接轴线(V)能够以抗拉且旋转固定的方式连接至所述连接元件(4)，并且所述衬底保持器(5)布置成能够绕所述连接轴线(V)旋转。

2.根据权利要求1所述的部件操纵器，其中提供了基板(6)，所述基板(6)旋转固定地连接至所述主驱动轴(30)，用于接纳带有所述衬底保持器(5)的所述连接元件(4)。

3.根据权利要求2所述的部件操纵器，其中所述基板(6)经由用于供应冷却流体(KF)的连接元件(32)旋转固定地连接至所述主驱动轴(3)。

4.根据权利要求1或2所述的部件操纵器，其中多个连接元件(4)相对于所述主旋转轴线(3)偏心地设置在所述基板(6)处，用于接纳多个衬底保持器(5)。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的部件操纵器，其中所述连接元件(4)经由驱动单元(7)与接触元件(8)操作地连接，用于所述衬底保持器(5)的旋转。

6.根据权利要求5所述的部件操纵器，其中所述主驱动轴(30)关于所述接触元件(8)可旋转地布置。

7.根据权利要求5或6中任一项所述的部件操纵器，其中所述接触元件(8)是布置在相对于所述主驱动轴(30)固定的轴护套(31)处的齿轮，其是有齿的，用来借助于所述驱动单元(7)驱动所述连接元件(4)。

8.根据前述权利要求中任一项所述的部件操纵器，其中所述插塞旋转连接的所述连接轴线(V)相对于所述主旋转轴线(3)以能够预先限定的倾斜角(α)倾斜。

9.根据权利要求3至8中任一项所述的部件操纵器，其中所述冷却流体(KF)经由冷却管线(KL)和布置在所述基板(6)上的冷却分配器(9)能够供应至所述连接元件(4)，并且能够供应至所述衬底保持器(5)的所述连接段(51)。

10.根据前述权利要求中任一项所述的部件操纵器，其中所述连接元件(4)通过轴承元件(42)支撑在轴承壳(41)中，其中在所述轴承壳(41)中优选提供了形成三点支承的三个轴承元件(42)，并且其中能够借助于与所述冷却流体(KF)的间接接触来冷却所述轴承元件(42)。

11.根据前述权利要求中任一项所述的部件操纵器，其中借助于防旋转安全件(10)来紧固所述连接元件(51)，以免相对于所述连接元件(4)扭转，其中所述防旋转安全件(10)为锁定销，尤其为金属或陶瓷锁定销，所述锁定销借助于设置在所述连接元件(4)处的安全带被紧固。

12.一种供根据权利要求1至11中任一项所述的部件操纵器(1)使用的涂层方法。

13.根据权利要求12所述的用于在衬底(2)上制造功能结构层(20)的涂层方法，其中借助于等离子喷涂方法在预先限定的低的工艺压力(P)下在工艺室中以涂层束(BS)的形式将涂层材料(200)喷涂到衬底(2)的表面上，其中所述涂层材料(200)在低于200mbar的低的工艺压力(P)下喷射到使所述涂层束(BS)散开的等离子中，并产生具有足够高的比焓的等离子，使得所述涂层材料的量中按重量计算至少5％的部分的相当大部分的所述涂层材料(200)转换成汽相，并在所述衬底(2)上形成所述结构层(20)，其中利用能够绕主旋转轴线(3)旋转的所述衬底保持器(5)布置要涂层的所述衬底(2)，使得所述衬底(2)的第一表面(211)与所述衬底的第二表面(212)相对于彼此对齐，从而使得在等离子喷涂时转换成所述汽相的所述涂层材料(200)的至少一部分从所述衬底(2)的所述第一表面(211)偏斜到所述衬底(2)的所述第二表面(212)上。