[发明专利]基板搬送装置及具备该基板搬送装置的基板加工装置

权利要求书

1.一种基板搬送装置，其特征在于，

该基板搬送装置具有机械臂，该机械臂能够在生产线中配备的加热台上进入上升后的基板之下，并通过该基板下降而接收该基板，然后该机械臂后退而沿着将该基板向下一个台搬送的水平方向移动，并且，该机械臂在其前端侧与基端侧之间，具有后进入该加热台的基端侧在比先进入该加热台的前端侧迟的定时升温的特性，

在所述加热台上，将多个所述基板沿着所述机械臂的移动方向成列地排列配置，

在所述加热台设置升降部件，该升降部件为了将这些基板举起到相同高度而上升，并且通过下降而将这些基板交付至所述机械臂，而且，

在所述加热台具备定时调整部件，该定时调整部件为了在所述机械臂的温度上升过程中将多个所述基板以相同温度交付至该机械臂，而使这些基板向该机械臂的交付在该机械臂的前端侧先进行且在基端侧后进行。

2.根据权利要求1所述的基板搬送装置，其特征在于，

按照将这些基板分别单独地举起到相同高度而上升、且通过单独地下降而将这些基板分别交付至所述机械臂的方式，设置多个所述升降部件，

所述定时调整部件是使位于所述机械臂的基端侧的所述升降部件比位于所述机械臂的前端侧的所述升降部件更迟地下降的升降部件控制装置。

3.根据权利要求1所述的基板搬送装置，其特征在于，

所述定时调整部件是为了使所述机械臂的基端侧上表面比该机械臂的前端侧上表面更远离所述基板，而在该机械臂上按照从基端侧上表面向前端侧上表面逐渐变高的方式倾斜设置的倾斜面。

4.根据权利要求3所述的基板搬送装置，其特征在于，

所述机械臂具有按照在搭载了全部所述基板时的重量下所述倾斜面变得大致水平的方式弯曲的特性。

5.一种基板加工装置，其特征在于，

该基板加工装置具备权利要求1至4中任一项所述的基板搬送装置，

该基板加工装置还包括：

第1作业机器人，其将所述基板以2片一组的方式进行操作、搬送；

涂覆台，其将由该第1作业机器人搬送的所述基板以2片一组的方式进行涂覆处理；

真空干燥台，其对由所述第1作业机器人从所述涂覆台搬送的2片一组的所述基板进行真空干燥处理；

第2作业机器人，其将由该真空干燥台真空干燥处理后的所述基板以2片一组的方式进行操作、搬送；

加热台，其对由该第2作业机器人从所述真空干燥台搬送的2片一组的基板实施用于烧成的加热处理；和

冷却台，其对由所述第2作业机器人从所述加热台搬送的2片一组的所述基板实施冷却处理。