[发明专利]用于PZT印刷头制造的作为间隙充填物的光刻胶材料的使用

权利要求书

1.用于形成喷墨印刷头的方法，包括：

将多个压电元件附着到隔膜上；

施加感光填隙层以充填相邻压电元件之间的间隔且与所述隔膜接触；

移除相邻压电元件之间的间隔中的所述感光填隙层的第一部分并且留下相邻压电元件之间的间隔中的所述感光填隙层的第二部分；以及

利用相邻压电元件之间的间隔中的所述感光填隙层的所述第二部分，将所述多个压电元件附着到多个电极以提供各个压电元件和附于其上的所述电极之间的电路。

2.如权利要求1所述的方法，进一步包括：

将相邻压电元件之间的间隔中的所述感光填隙层的所述第二部分暴露于图案化的光以使位于相邻压电元件之间的所述感光填隙层的所述第二部分交联，而所述感光填隙层的所述第一部分不被暴露于所述图案化的光；以及

将所述感光填隙层的所述第一部分和所述第二部分暴露于显影剂以移除所述感光填隙层的所述第一部分并且留下所述感光填隙层的位于相邻压电元件之间的所述第二部分。

3.如权利要求2所述的方法，进一步包括：

将隔膜附着材料附着到所述隔膜上，其中所述隔膜包括贯穿所述隔膜的多个开口且所述隔膜附着材料遮盖贯穿所述隔膜的所述多个开口；

在所述感光填隙层的所述施加过程中，所述感光填隙层的所述第一部分接触所述隔膜附着材料且所述隔膜附着材料防止所述感光填隙层流过所述隔膜中的所述多个开口；以及 

继移除接触所述隔膜附着材料的所述感光填隙层的所述第一部分之后，移除遮盖贯穿所述隔膜的所述多个开口的所述隔膜附着材料。

4.如权利要求1所述的方法，进一步包括：

将隔膜附着材料附着到所述隔膜上，其中所述隔膜附着材料遮盖贯穿所述隔膜的多个开口；

利用所述隔膜附着材料将所述隔膜附着到主体板上，其中所述主体板被附着到进口/出口板上；

继移除所述感光填隙层的所述第一部分之后，移除遮盖贯穿所述隔膜的所述多个开口的所述隔膜附着材料；以及

继移除遮盖贯穿所述隔膜的所述多个开口的所述隔膜附着材料之后，将包括多个喷嘴的孔板附着到所述进口/出口板上。

5.如权利要求1所述的方法，进一步包括：

将所述感光填隙层的所述第一部分暴露于图案化的光，而相邻压电元件之间的所述感光填隙层的所述第二部分不被暴露于所述图案化的光；以及

将所述感光填隙层的所述第一部分和所述第二部分暴露于显影剂以移除所述感光填隙层的所述第一部分并且留下所述感光填隙层的位于相邻压电元件之间的所述第二部分。

6.喷墨印刷头，包括：

喷射堆栈，其包括：

多个压电元件；

各个相邻压电元件之间的间隔，其中用感光材料充填相邻压电元件之间的每个间隔；

附着到所述多个压电元件的隔膜；以及

利用隔膜附着材料附着到所述隔膜上的主体板；

印刷电路板，其附着到所述感光材料上并且包括：

多个电极，其中所述多个电极中的每一个通过导体电耦合到所述多个压电元件中的一个。 

7.如权利要求6所述的喷墨印刷头，其中所述感光材料是光刻胶。

8.如权利要求6所述的喷墨印刷头，其中所述感光材料物理地接触所述隔膜和所述多个压电元件。

9.印刷机，包括：

喷射堆栈，包括：

当中有多个开口的隔膜；

附着到所述隔膜上的多个压电元件；

利用隔膜附着材料附着到所述隔膜上的主体板；以及

相邻压电元件之间的感光填隙层；

附着到所述感光填隙层并且包括多个电极的印刷电路板，其中每个电极与各自的压电元件电耦合；

延伸穿过所述印刷电路板、所述感光填隙层、所述隔膜以及所述隔膜附着材料的多个开口；

附着到所述印刷电路板上的歧管；以及

由所述歧管的内表面和所述印刷电路板的表面所限定的墨池。

10.如权利要求9所述的印刷机，其中所述感光填隙层其材料选自可光定义环氧树脂、可光定义聚酰亚胺和可光定义聚对苯撑苯并二恶唑。