[发明专利]一种二自由度微位移精密定位装置无效
| 申请号： | 201210090999.4 | 申请日： | 2012-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN102623070A | 公开（公告）日： | 2012-08-01 |
| 发明（设计）人： | 齐克奇;向阳 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G12B5/00 | 分类号： | G12B5/00 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人： | 南小平 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 自由度 位移 精密 定位 装置 | ||
1.一种二自由度微位移精密定位装置，其特征在于，该装置包括载物台(1)、基板(2)、四个形状结构相同的嵌套式平行四边形柔性连杆机构、四组形状结构相同的平行四边形导向机构、第一压电致动器(3A)和第二压电致动器(3a)；
所述嵌套式平行四边形柔性连杆机构包括第一柔性双连杆组(4A)、第二柔性双连杆组(5A)、刚杆(6A)和U型刚性杆(7A)；所述第一柔性双连杆组(4A)的两端分别与载物台(1)和刚杆(6A)连接；所述第二柔性双连杆组(5A)两端分别与刚杆(6A)和U型刚性杆(7A)连接；所述四个形状结构相同的嵌套式平行四边形柔性连杆机构正交对称分布在载物台(1)的四个边上；
所述平行四边形导向机构包括四根形状结构相同的柔性连杆(8A、8B、8C、8D)，所述四根形状结构相同的柔性连杆(8A、8B、8C、8D)对称分布在U型刚性杆(7A)的两侧，每侧两根，每根柔性连杆的一端与U型刚性杆(7A)相连，另一端与基板(2)相连；
所述第一压电致动器(3A)和第二压电致动器(3a)分别位于载物台(1)对称轴的X轴负轴和Y轴负轴上，所述第一压电致动器(3A)和第二压电致动器(3a)的两端分别与嵌套式平行四边形柔性连杆机构中的U型刚性杆(7A)和基板(2)连接。
2.根据权利要求1所述的一种二自由度微位移精密定位装置，其特征在于，所述的第一柔性双连杆组(4A)、第二柔性双连杆组(5A)分别由两根相互平行且形状结构相同的柔性连杆构成，所述的柔性连杆是一根两端是柔性铰的刚杆。
3.根据权利要求1所述的一种二自由度微位移精密定位装置，其特征在于，所述四根形状结构相同的柔性连杆(8A、8B、8C、8D)的两端是柔性铰的刚杆。
4.根据权利要求1所述的一种二自由度微位移精密定位装置，其特征在于，该装置还包括四个与载物台(1)中心轴对称的沉头孔(9)。
5.根据权利要求1所述的一种二自由度微位移精密定位装置，其特征在于，所述的第一压电致动器(3A)和第二压电致动器(3a)是压电陶瓷致动器。
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