[发明专利]一种调焦调平信号处理方法

权利要求书

1.一种调焦调平信号处理方法，照明光源产生的照明光束投射到投影狭缝阵列上形成狭缝光束，所述狭缝光束投射到被测硅片上形成投影光束，经被测硅片反射后通过光学探测结构形成投影光斑，所述投影光斑入射到探测狭缝阵列上形成探测光斑，所述探测光斑入射到光电探测器上形成探测信号，所述光学探测结构包括偏置平板和扫描反射镜，所述扫描反射镜做简谐振动，其特征在于，该方法包括以下步骤：

步骤1，模数转换单元对所述探测信号进行模数转换后，结合所述扫描反射镜同步信号存储采样数据；

步骤2，获得所述采样数据中两个相邻波峰的时间间隔；

步骤3，判断所述被测硅片是否进入精测范围，如果进入精测范围，根据所述时间间隔计算出所述被测硅片的离焦量z；如果没有进入精测范围，重复步骤2、3。

2.根据权利要求1所述的信号处理方法，其特征在于，步骤1之前还包括，模拟滤波器单元对所述探测信号进行滤波处理。

3.根据权利要求2所述的信号处理方法，其特征在于，所述模拟滤波器单元滤除远高于探测信号频段的高频信号和远低于探测信号频段的低频信号。

4.根据权利要求1所述的信号处理方法，其特征在于，步骤2之前还包括，可编程门阵列对所述探测信号进行数字滤波，提高所述探测信号的信噪比。

5.根据权利要求1所述的信号处理方法，其特征在于，所述两个相邻波峰的时刻为Tc和Td，如果0<|Tc-Td|<2/T，则表示所述被测硅片进入精测范围，T为所述扫描反射镜做简谐振动的周期。

6.根据权利要求5所述的信号处理方法，其特征在于，所述离焦量z的计算公式                                                ，，其中w表示所述扫描反射镜的角频率，d表示探测狭缝宽度，k为投影光斑偏移量。

7.根据权利要求1所述的信号处理方法，其特征在于，所述投影光斑的宽度等于所述探测狭缝的宽度。

8.根据权利要求1所述的信号处理方法，其特征在于，所述照明光束通过光学照明结构后投射到所述投影狭缝阵列上，所述狭缝光束通过投影照明结构后投射到被测硅片上，所述投影光束经被测硅片反射后通过反射镜后入射到所述光学探测结构，所述探测光斑经过光学中继模块后入射到所述光电探测器。

9.根据权利要求8所述的信号处理方法，其特征在于，所述光学照明结构为反射镜，所述投影照明结构为反射镜。