[发明专利]一种集成光学器件用光路结构

权利要求书

1.一种集成光学器件用光路结构，其特征在于，该结构包括长直波导，线性展宽波导，第一圆弧形弯曲波导、第二圆弧形弯曲波导，所述的线性展宽波导一端连接长直波导，另一端分别连接第一圆弧形弯曲波导和第二圆弧形弯曲波导，构成1×2的Y型分支结构，所述的长直波导的宽度与线性展宽波导起始节点宽度的宽度相等，所述的线性展宽波导以长直波导的中心线为中心向两侧延伸，并在其末端分为两边，分别连接第一圆弧形弯曲波导和第二圆弧形弯曲波导，所述的第一圆弧形弯曲波导和第二圆弧形弯曲波导以长直波导的中心线为中心向两侧完全，其中第一圆弧形弯曲波导的曲率半径为15000～100000μm，所述的第二圆弧形弯曲波导的曲率半径为15000～100000μm。

2.根据权利要求1所述的一种集成光学器件用光路结构，其特征在于，所述的长直波导的宽度为1.5～18μm，长度为100～2000μm。

3.根据权利要求1所述的一种集成光学器件用光路结构，其特征在于，所述的线性展宽波导的长度为50～800μm，末端的宽度为3～40μm。

4.根据权利要求1所述的一种集成光学器件用光路结构，其特征在于，所述的第一圆弧形弯曲波导的宽度为1.5～18μm，第一圆弧形弯曲波导的起始点切线方向与水平方向的夹角为0.1-1度，第一圆弧形弯曲波导的末端处切线方向与水平方向的夹角为0.7-10度。

5.根据权利要求1所述的一种集成光学器件用光路结构，其特征在于，所述的第二圆弧形弯曲波导的宽度为1.5～18μm，第二圆弧形弯曲波导的起始点切线方向与水平方向的夹角为0.1-1度，第一圆弧形弯曲波导的末端处切线方向与水平方向的夹角为0.7-10度。

6.根据权利要求1所述的一种集成光学器件用光路结构，其特征在于，所述的第一圆弧形弯曲波导和第二圆弧形弯曲波导的曲率半径和宽度相等或不等。

7.根据权利要求1所述的一种集成光学器件用光路结构，其特征在于，所述的第一圆弧形弯曲波导和第二圆弧形弯曲波导的末端各连一个所述Y型分支结构，构成1×4的分支结构，并在其末端继续连接所述Y型分支结构，构成1×8的分支结构、1×16的分支结构、1×32的分支结构、1×64的分支结构、1×128的分支结构或1×256的分支结构。