[发明专利]具有通过常温真空接合而接合的振动部的振动执行机构

说明书

技术领域

本发明涉及具有通过电力机械能量转换元件的变形而被驱动的弹性体的振动体、具有该振动体的振动执行机构、透镜镜筒及照相机、以及振动体的接合方法。

背景技术

振动执行机构利用基于电力机械能量转换元件的驱动信号的变形，驱动接合在该电力机械能量转换元件上的弹性体，从而使与该弹性体加压接触的相对移动部件移动。在该电力机械能量转换元件和弹性体的接合中，一般使用粘结剂以及粘结层(参照专利文献1)。

专利文献1：日本特开平5-261647号公报

但是，粘结剂中含有阻碍共振现象的树脂成分。因此，以往的振动体，从电力机械能量转换元件向弹性体传递的振动被衰减，振动的传递效率低。

发明内容

本发明的目的在于，提供一种电力机械能量转换元件和弹性体不使用粘结剂而被接合的振动体、具有该振动体的振动执行机构、具有该振动执行机构的透镜镜筒、具有该透镜镜筒的照相机、及振动体的接合方法。

本发明通过以下的解决方式来解决所述课题。此外，为了容易理解，对表示本发明的一个实施方式的附图标注对应的标记并进行说明，但本发明不限于此。

本发明的第一方式为一种振动体(30)，其特征在于，具有：电力机械能量转换元件(33、34)；与该电力机械能量转换元件(33、34)接合、通过该电力机械能量转换元件(33、34)的变形被驱动的弹性体(31、32)，所述电力机械能量转换元件(33、34)和所述弹性体(31、32)通过金属结合而被接合。

本发明的第二方式，在第一方式的振动体(30)中，其特征在于：基于所述金属结合的接合为真空接合。

本发明的第三方式，在第二方式的振动体(30)中，其特征在于：所述真空接合为常温真空接合。

本发明的第四方式，在第三方式的振动体(30)中，其特征在于：所述常温真空接合为基于表面活性化的接合。

本发明的第五方式，在从第一方式到第四方式的任一个振动体(30)中，其特征在于：对所述电力机械能量转换元件(33、34)和所述弹性体(31、32)的某一方实施金属电镀，所述金属电镀部分和另一方之间通过所述金属结合而被接合。

本发明的第六方式，在从第一方式到第四方式的任一个振动体(30)中，其特征在于：在所述电力机械能量转换元件(33、34)和所述弹性体(31、32)之间夹置金属箔，所述电力机械能量转换元件(33、34)和所述金属箔及所述弹性体(31、32)和所述金属箔之间通过所述金属结合被接合。

本发明的第七方式，在从第一方式到第六方式的任一个振动体(30)中，其特征在于：基于所述金属结合的接合是在所述电力机械能量转换元件(33、34)和所述弹性体(31、32)之间施加了压力的状态下进行的。

本发明的第八方式，是一种振动执行机构(100)，其特征在于：具有从第一方式到第七方式的任一个振动体(30)。

本发明的第九方式，是一种透镜镜筒(300)，其特征在于：具有第八方式的振动执行机构(100)。

本发明的第十方式，是一种照相机(200)，其特征在于：具有第九方式的透镜镜筒(300)。

本发明的第十一方式是一种振动体(30)的接合方法，其特征在于，具有：电力机械能量转换元件(33、34)；与该电力机械能量转换元件(33、34)接合、通过该电力机械能量转换元件(33、34)的变形而被驱动的弹性体(31、32)，所述电力机械能量转换元件(33、34)和所述弹性体(31、32)通过金属结合而进行接合。

本发明的第十二方式，在第十一方式的振动体(30)的接合方法中，其特征在于：基于所述金属结合的接合为真空接合。

本发明的第十三方式，在第十二方式的振动体(30)的接合方法中，其特征在于：所述真空接合为常温真空接合。

本发明的第十四方式，在第十三方式的振动体(30)的接合方法中，其特征在于：所述常温真空接合是基于表面活性化的接合。

本发明的第十五方式，在从第十一方式到第十四方式的任一种振动体(30)的接合方法中，其特征在于：在进行基于所述金属结合的接合前，对所述电力机械能量转换元件(33、34)和所述弹性体(31、32)的某一方实施金属电镀，通过基于所述金属结合的接合对所述金属电镀部分和另一方之间进行接合。