[发明专利]一种蓝宝石晶片的退火方法无效
| 申请号： | 201210097236.2 | 申请日： | 2012-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN102634850A | 公开（公告）日： | 2012-08-15 |
| 发明（设计）人： | 储耀卿;石剑舫;王善建;石晓鑫;朱文超 | 申请（专利权）人： | 江苏鑫和泰光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/02 | 分类号： | C30B33/02;C30B29/20 |
| 代理公司： | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人： | 路接洲 |
| 地址： | 213000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 蓝宝石 晶片 退火 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种蓝宝石晶片的退火方法，其特征在于包括以下步骤：
(1)将蓝宝石晶片装入退火炉中，快速直接升温至低温度区域150℃～300℃，保温2～4小时，此阶段升温时间为1～2小时；
(2)经过低温保温一段时间后，升温至中温区域600℃～800℃，保温5～10小时，此阶段升温时间为4～6小时；
(3)经过中温保温一段时间后，升温至高温区域900℃～1600℃，保温10～20小时，此阶段保温时间为6～20小时。
2.如权利要求1所述的一种蓝宝石晶片的退火方法，其特征在于：在升温保温过程中，适时旋转装载蓝宝石衬底的工装，使退火的晶片在退火炉中旋转。
3.如权利要求1所述的一种蓝宝石晶片的退火方法，其特征在于：高温保温结束后，以每小时10℃～50℃降温至室温出炉。
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