[发明专利]低温泵的盖结构、低温泵及其启动方法以及保管方法

说明书

技术领域

本申请主张基于2011年4月5日申请的日本专利申请第2011-083629号的优先权。其申请的全部内容通过参考援用于本说明书中。

本发明涉及一种用于低温泵的盖结构、低温泵、低温泵的启动方法及低温泵的保管方法。

背景技术

低温泵为通过凝缩或吸附将气体分子捕捉于冷却成超低温的低温板来排气的真空泵。低温泵普遍为了实现半导体电路制造工艺等所要求的清洁的真空环境而利用。为了吸附气体，在低温板上粘着有活性碳。

专利文献1：日本特开平2-308985号公报

在不使用低温泵时，例如保管时或传输时，低温板上的吸附剂也能够吸附周围的成分。例如，当低温泵发货且开始使用其之前外部气体可进入低温泵的内部时，吸附剂能够吸附大量水分。在使用低温泵之前，利用其他辅助性真空泵真空抽取至低温泵的工作压力。这时吸附的成分从活性炭放出，在达到工作压力之前需要时间。

发明内容

本发明是鉴于这种情况而完成的，其某一方式的例示性目的之一在于以良好的状态保管低温泵直至开始使用低温泵时为止。

本发明的某一方式的盖结构为用于将低温泵的内部保持成负压的盖结构，所述盖结构具备用于堵塞低温泵的泵口的盖主体，所述盖主体具有将低温泵的内部与外部连通的小孔，还具备用于堵塞所述小孔的闭塞部件。

根据该方式，每当开始使用低温泵之际，能够以拆卸闭塞部件这样的简单工作破坏真空，因此在现实中容易将低温泵的内部设为真空或负压来保管。能够通过对低温泵的内部进行减压来以保管当初的良好状态保持低温泵、尤其是内置的吸附剂。

本发明的另一方式为低温泵的启动方法。该方法包括通过从盖主体拆卸安装于低温泵的盖结构的闭塞部件来解除低温泵内部的负压的步骤。

本发明的另一方式为低温泵的保管方法。该方法包括用盖堵塞用于接收由低温泵排气的气体的低温泵的泵口的步骤、及通过将低温泵的内部与外部连通的流体路径对低温泵的内部进行减压的步骤。

发明效果

根据本发明能够良好地保管低温泵。

附图说明

图1是示意地表示本发明的一实施方式所涉及的低温泵的图。

图2是示意地表示用于本发明的一实施方式所涉及的低温泵的泵盖的图。

图3是用于说明本发明的一实施方式所涉及的低温泵的保管方法的流程图。

图4是用于说明本发明的一实施方式所涉及的低温泵的启动方法的流程图。

图中：10-低温泵，11-第1缸，12-第2缸，13-第1冷却台，14-第2冷却台，20-控制部，30-低温泵容器，40-放射屏蔽，43-制冷机插通孔，50-制冷机，60-低温板，70-通气阀，72-粗抽阀，80-排出管路，82-排出导管，100-泵盖，102-盖主体，104-小孔，106-闭塞部件。

具体实施方式

图1是示意地表示本发明的一实施方式所涉及的低温泵10的图。低温泵10被安装于例如离子注入装置或溅射装置等的真空腔室，为了使真空腔室内部的真空度提高至所期望的工艺所要求的水平而使用。低温泵10包括低温泵容器30、放射屏蔽40及制冷机50而构成。

制冷机50为例如吉福特-麦克马洪式制冷机(所谓的GM制冷机)等制冷机。制冷机50具备第1缸11、第2缸12、第1冷却台13、第2冷却台14及阀驱动马达16。第1缸11与第2缸12串联连接。在第1缸11的与第2缸12的结合部侧设置第1冷却台13，在第2缸12的远离第1缸11的一侧的端部设置第2冷却台14。图1所示的制冷机50为2级式制冷机，通过串联且2级组合缸来实现更低的温度。制冷机50通过制冷剂管18连接于压缩机52。

压缩机52压缩例如氦等制冷剂气体，即工作气体，通过制冷剂管18供给至制冷机50。制冷机50使工作气体根据通过蓄冷器来进行冷却，并且首先在第1缸11的内部的膨胀室膨胀，接着在第2缸12的内部的膨胀室膨胀，由此进一步进行冷却。蓄冷器被组装于膨胀室内部。由此，设置于第1缸11的第1冷却台13被冷却到第1冷却温度水平，而设置于第2缸12的第2冷却台14被冷却到低于第1冷却温度水平的温度的第2冷却温度水平。例如，第1冷却台13被冷却到65K～100K左右，而第2冷却台14被冷却到10K～20K左右。