[发明专利]一种MOS场控晶闸管无效

专利信息
申请号: 201210098651.X 申请日: 2012-04-06
公开(公告)号: CN102623492A 公开(公告)日: 2012-08-01
发明(设计)人: 陈万军;齐跃;张波 申请(专利权)人: 电子科技大学;东莞电子科技大学电子信息工程研究院
主分类号: H01L29/745 分类号: H01L29/745;H01L29/749;H01L29/06
代理公司: 电子科技大学专利中心 51203 代理人: 葛启函
地址: 611731 四川省成*** 国省代码: 四川;51
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摘要:
搜索关键词: 一种 mos 晶闸管
【权利要求书】:

1.一种MOS场控晶闸管,包括阳极结构、漂移区结构、阴极结构和栅极结构;其特征在于,所述漂移区结构包括N-型漂移区(4)和P型延伸区(5);所述P型延伸区(5)由阴极结构中的P型体区(3)向下延伸入N-型漂移区(4)形成,但P型延伸区(5)不与阳极结构中的P+区(7)接触。

2.根据权利要求1所述的MOS场控晶闸管,其特征在于,所述MOS场控晶闸管的开启沟道与关断沟道的比值为1∶N,其中N为自然数。

3.根据权利要求1所述的MOS场控晶闸管,其特征在于,所述P型延伸区(5)下方的N-型漂移区(4)中还具有与阳极结构中的P+阳极区7相接触的N+缓冲层,使得漂移区结构形成PT型或FS型漂移区结构。

4.根据权利要求1所述的MOS场控晶闸管,其特征在于,所述栅极结构为平面型结构或沟槽型结构。

5.根据权利要求1~4中任一项所述的MOS场控晶闸管,其特征在于,所述P型延伸区(5)与两侧的N-型漂移区(4)形成超结结构。

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