[发明专利]非球面复制胶水辅助加工工艺及其装置

说明书

技术领域

本发明涉及光学产品领域，尤其涉及一种非球面复制胶水辅助加工工艺及其装置，用于改进光学产品半导体生产工艺中的非球面复制工艺。

背景技术

晶圆级光学镜头半导体生产工艺中要采用非球面复制工艺，非球面复制工艺是把一定量的胶水滴放到直径200mm的圆片玻璃基材上，然后用非球面模具缓慢下压，使得胶水受压扩散，胶水扩散范围越大，能得到的产品数越多，同时还要保证胶水的厚度达标且没有气泡。目前，该工艺都在室温下进行，这就要求胶水在无尘车间室温下(20-24℃)有非常好的流动性。但在可以用来制作光学镜头的胶水材料库中，光折射率低、色散低的胶水室温下往往流动性比较好，能符合常规非球面复制工艺的要求，而光折射率高，色散高的胶水室温下都比较粘稠，流动性不好，不能满足常规非球面复制工艺的要求。而光学镜头设计中，使用的镜片材质在属性上需要高低搭配，才能缩短光路，平衡各类色差，提升成像品质，所以如何克服胶水材料流动性差带来的工艺难题成了提升产品竞争力的关键所在！

发明内容

为了克服上述缺陷，本发明提供了一种非球面复制胶水辅助加工工艺及其装置，其针对室温下流动性不好的胶水材料，在其流经的工艺路径上进行辅助加热，使其温度得以提升并保持稳定在一定合适温度内，改善其流动性，从而满足了非球面复制工艺对胶水材料的流动性要求。

本发明为了解决其技术问题所采用的技术方案是：一种非球面复制胶水辅助加工工艺，包括将胶水流经一定的工艺路径滴加到圆片玻璃基材的中心位置处，完成滴胶，然后再用非球面模具对所述圆片玻璃基材进行压制，在所述胶水流经的工艺路径上采用辅助加热使胶水保持在某一设定的温度。

作为本发明的进一步改进，所述胶水流经的工艺路径包括将储液器中的胶水经输液管路注射到工作盘上的圆片玻璃基材的中心位置处，完成滴胶，在该输液器、输液管路和工作盘上分别进行辅助加热使其分别保持在某一设定的温度。

作为本发明的进一步改进，在所述输液器外周套设一加热器对所述输液器进行加热，并在所述输液器上设置第一温度传感器检测其温度，该第一温度传感器传信于微电脑温度控制器，该微电脑温度控制器控制所述加热器的工作状态。

作为本发明的进一步改进，在所述输液管路外周缠绕设有第一加热丝，并在该输液管路上设有第二温度传感器检测其温度，该第二温度传感器传信于所述微电脑温度控制器，该微电脑温度控制器控制所述第一加热丝的工作状态。

作为本发明的进一步改进，在所述工作盘的底面的空闲区域盘绕设有第二加热丝以及另设有第三温度传感器，该第三温度传感器检测工作盘的温度并传信于所述微电脑温度控制器，该微电脑温度控制器控制所述第二加热丝的工作状态。

本发明还提供一种非球面复制胶水辅助加工装置，包括输液器、输液管路和工作盘，在所述输液器外周套设一加热器，该输液器的出液口插入所述输液管路一端入口内，所述输液管路另一端出口正对所述工作盘中心，且该输液管路的外周缠绕设有第一加热丝，在所述工作盘的底面的空闲区域盘绕设有第二加热丝，另在所述输液器、输液管路和工作盘上分别设有第一、二、三温度传感器，该第一、二、三温度传感器分别传信于一微电脑温度控制器，该微电脑温度控制器设置于一控制柜内，且该微电脑温度控制器根据接收到的信号控制所述加热器、第一加热丝和第二加热丝的工作状态。

作为本发明的进一步改进，在所述控制柜内设有开关用于控制所述微电脑温度控制器的开闭。

本发明的有益效果是：能够大幅增加适合非球面复制工艺要求的材料类型，使得晶圆级光学镜头产品设计时能高低属性材料搭配，从而提升产品成像品质，专利实施后也能缩短工艺耗时，提高机台利用率，降低产品成本，提升其市场竞争力。

附图说明

图1为本发明所述储液器结构示意图；

图2为本发明所述加热器结构示意图；

图3为本发明所述输液器和加热器的结构示意图；

图4为本发明所述输液管路结构示意图；

图5为本发明所述控制柜结构示意图；

图6为本发明所述工作盘结构示意图；

图7为本发明所述工作盘另一视角结构示意图；

图8为本发明所述非球面复制胶水辅助加工装置结构示意图。

结合附图，作以下说明：

1——输液管路            2——入口

3——出口                4——储液器

5——加热器              6——微电脑温度控制器