[发明专利]一种对准系统光阑板的调整机构有效
申请号: | 201210099944.X | 申请日: | 2012-04-06 |
公开(公告)号: | CN103365123A | 公开(公告)日: | 2013-10-23 |
发明(设计)人: | 袁永刚 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备有限公司 |
主分类号: | G03F9/00 | 分类号: | G03F9/00;G03F7/20 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅;李时云 |
地址: | 201203 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 对准 系统 光阑 调整 机构 | ||
1.一种对准系统光阑板的调整机构,其特征在于,包括:
操作机台壳体;
光阑板固定板,固定在所述操作机台壳体上;
滑台固定板,固定在所述操作机台壳体上,XY滑台固定在所述滑台固定板上,滑台连接板安装在所述XY滑台上,所述XY滑台具有旋钮控制所述滑台连接板相对操作机台壳体在X、Y方向独立移动;
Rz调节板,其上开有圆弧轨道孔并与所述滑台连接板上设置的导向销配合,所述Rz调节板能沿着导向销在自身的轨道中滑动,即所述Rz调节板能相对滑台连接板作Rz方向旋转;
其中,所述光阑板固定板上固定有光阑板组件。
2.根据权利要求1所述的对准系统光阑板的调整机构,其特征在于,所述光阑板组件通过定位销和光阑板组件固定螺钉固定在所述光阑板固定板上。
3.根据权利要求1所述的对准系统光阑板的调整机构,其特征在于,所述光阑板组件与所述光阑板固定板通过胶合固定。
4.根据权利要求1所述的对准系统光阑板的调整机构,其特征在于,所述光阑板组件通过螺钉与所述Rz调节板固定。
5.根据权利要求1所述的对准系统光阑板的调整机构,其特征在于,所述Rz调节板上的圆弧轨道中心设置在光阑板组件作Rz调节时的旋转中心,从而实现光阑板的Rz调节。
6.根据权利要求1所述的对准系统光阑板的调整机构,其特征在于,所述调整机构还包括拉簧,Rz调节旋钮,以及旋钮座用于推动Rz调节板相对滑台连接板旋转进行Rz方向调节。
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