[发明专利]一种籽晶夹持器无效

专利信息
申请号: 201210100151.5 申请日: 2012-04-06
公开(公告)号: CN103361716A 公开(公告)日: 2013-10-23
发明(设计)人: 戴小林;吴志强;汪丽都;崔彬;姜舰;邓树军;王雅楠;朱秦发;叶松芳 申请(专利权)人: 有研半导体材料股份有限公司
主分类号: C30B15/32 分类号: C30B15/32
代理公司: 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 代理人: 郭佩兰
地址: 100088 *** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 籽晶 夹持
【权利要求书】:

1.一种籽晶夹持器,包括夹持器上部和夹持器下部,该夹持器上部与夹持器下部之间为可拆卸连接,该夹持器下部内具有一个贯通上下的空腔,其特征在于:该夹持器下部的下端沿其内壁具有一个环形的凸台,该空腔内设有一弹簧。

2.根据权利要求1所述的籽晶夹持器,其特征在于:所述弹簧未伸缩时的长度大于或等于所述夹持器上部底面与所述凸台之间的距离。

3.根据权利要求1或2所述的籽晶夹持器,其特征在于:所述弹簧为圆筒形。

4.根据权利要求1或2所述的籽晶夹持器,其特征在于:所述夹持器上部与所述夹持器下部之间为螺纹连接。

5.一种籽晶夹持器,包括夹持器上部和夹持器下部,该夹持器上部与夹持器下部之间为可拆卸连接,该夹持器下部内具有一个贯通上下的空腔,其特征在于:该空腔的下端口为倒圆台状或倒棱台状,该空腔内设有一弹簧。

6.根据权利要求5所述的籽晶夹持器,其特征在于:所述弹簧未伸缩时的长度大于或等于所述夹持器上部底面与所述下端口颈部之间的距离。

7.根据权利要求5或6所述的籽晶夹持器,其特征在于:所述弹簧为圆筒形或空心多面体形,该空心多面体的面数为3-16。

8.根据权利要求7所述的籽晶夹持器,其特征在于:所述空心多面体的面数为4。

9.根据权利要求5或6所述的籽晶夹持器,其特征在于:所述夹持器上部与所述夹持器下部之间为螺纹连接。

10.根据权利要求1或5所述的籽晶夹持器,其特征在于:所述弹簧的材质为钼、钨、石墨、铪、钽、碳纤维、铼、锆、氧化锆、铌、锝、钛、钒、铁、不锈钢、铬或镍。

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