[发明专利]一种防止磷硅酸盐玻璃或硼磷硅酸盐玻璃薄膜吸水的方法有效
| 申请号： | 201210100763.4 | 申请日： | 2012-04-09 |
| 公开（公告）号： | CN102637582A | 公开（公告）日： | 2012-08-15 |
| 发明（设计）人： | 肖海波;郑春生;胡学清 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/02 | 分类号： | H01L21/02 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 王敏杰 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 防止 硅酸盐 玻璃 薄膜 吸水 方法 | ||
1.一种防止磷硅酸盐玻璃或硼磷硅酸盐玻璃薄膜吸水的方法，其特征在于，包括以下步骤：
步骤S1：在一硅衬底上沉积磷硅酸盐玻璃或硼磷硅酸盐玻璃薄膜；
步骤S2：沉积无定形碳薄膜覆盖所述磷硅酸盐玻璃或硼磷硅酸盐玻璃薄膜的上表面，以防止磷硅酸盐玻璃或硼磷硅酸盐玻璃薄膜在保存时吸水受潮；
步骤S3：确认后续工艺准备好后，进行下一步工艺前，去除所述无定形碳薄膜。
2.根据权利要求1所述的防止磷硅酸盐玻璃或硼磷硅酸盐玻璃薄膜吸水的方法，其特征在于，所述硅衬底为光监控晶圆或产品晶圆。
3.根据权利要求2所述的防止磷硅酸盐玻璃或硼磷硅酸盐玻璃薄膜吸水的方法，其特征在于，所述硅衬底为光监控晶圆时，去除所述无定形碳薄膜后，进行晶圆参数的测量。
4.根据权利要求3所述的防止磷硅酸盐玻璃或硼磷硅酸盐玻璃薄膜吸水的方法，其特征在于，所述晶圆参数包含为晶圆厚度、浓度和应力。
5.根据权利要求2所述的防止磷硅酸盐玻璃或硼磷硅酸盐玻璃薄膜吸水的方法，其特征在于，所述硅衬底为产品晶圆时，在进行下一步工艺前，对该产品晶圆进行高温回流工艺。
6.根据权利要求1-5中任意一项所述的防止磷硅酸盐玻璃或硼磷硅酸盐玻璃薄膜吸水的方法，其特征在于，步骤S2中采用等离子体增强化学气相沉积工艺沉积所述无定形碳薄膜。
7.根据权利要求6所述的防止磷硅酸盐玻璃或硼磷硅酸盐玻璃薄膜吸水的方法，其特征在于，所述无定形碳薄膜的厚度为200A-1000A。
8.根据权利要求7所述的防止磷硅酸盐玻璃或硼磷硅酸盐玻璃薄膜吸水的方法，其特征在于，所述等离子体增强化学气相沉积工艺的温度为300℃-500℃。
9.根据权利要求8所述的防止磷硅酸盐玻璃或硼磷硅酸盐玻璃薄膜吸水的方法，其特征在于，步骤S3中依次采用等离子体灰化工艺和清洗工艺去除所述无定形碳薄膜。
10.根据权利要求9所述的防止磷硅酸盐玻璃或硼磷硅酸盐玻璃薄膜吸水的方法，其特征在于，所述清洗工艺为湿法清洗工艺。
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