[发明专利]薄膜太阳能电池的绒面透明导电氧化物薄膜的制备方法

权利要求书

1.一种薄膜太阳能电池的绒面透明导电氧化物薄膜的制备方法，其特征在于：包含如下工艺步骤：①在低于100℃条件下采用磁控溅射技术，在衬底上利用不同掺杂浓度的靶材沉积透明导电薄膜；②对制备的透明导电薄膜经先退火后化学湿法刻蚀处理或先化学湿法刻蚀后退火处理，形成绒面结构；③经上述工艺步骤后获得适用于薄膜太阳能生产的绒面透明导电氧化物薄膜。

2.根据权利要求1所述之薄膜太阳能电池的绒面透明导电氧化物薄膜的制备方法，其特征在于所述低于100℃条件下为室温条件。

3.根据权利要求1或2所述之薄膜太阳能电池的绒面透明导电氧化物薄膜的制备方法，其特征在于所述在衬底上利用不同掺杂浓度的靶材沉积透明导电薄膜，透明导电薄膜为氧化锌薄膜、硼掺杂ZnO薄膜、金属元素掺杂ZnO薄膜、金属元素掺杂氧化锡薄膜，靶材即为上述薄膜相应的材料。

4.根据权利要求3所述之薄膜太阳能电池的绒面透明导电氧化物薄膜的制备方法，其特征在于金属元素掺杂ZnO薄膜包括：铝掺杂ZnO薄膜、镓掺杂ZnO薄膜，靶材即为上述薄膜相应的材料。

5.根据权利要求1或2所述之薄膜太阳能电池的绒面透明导电氧化物薄膜的制备方法，其特征在于所述磁控溅射技术，包括射频、直流和中频；所述衬底为超白浮法玻璃、透明聚酯膜、不锈钢衬底材料。

6.根据权利要求1或2所述之薄膜太阳能电池的绒面透明导电氧化物薄膜的制备方法，其特征在于所述磁控溅射技术使用的磁控溅射设备，具有温度可控的衬底加热系统和水冷循环系统。

7.根据权利要求6所述之薄膜太阳能电池的绒面透明导电氧化物薄膜的制备方法，其特征在于大磁控溅射设备所用靶材为不同掺杂浓度的ZnO:Al₂O₃陶瓷靶材，掺杂浓度体积比为0.1-3%，陶瓷靶材形状为矩形平板或圆柱旋转靶材。

8.根据权利要求1或2所述之薄膜太阳能电池的绒面透明导电氧化物薄膜的制备方法，其特征在于所述化学湿法刻蚀处理，使用的刻蚀溶液为稀释的无机酸、碱或盐，其中酸为盐酸、硫酸、磷酸，碱为氢氧化钾、氢氧化钠，盐为氯化铵，浓度>0.1%。

9.根据权利要求1或2所述之薄膜太阳能电池的绒面透明导电氧化物薄膜的制备方法，其特征在于所述退火处理，所采用的退火设备温度范围为>100℃，退火时间不限。

10.根据权利要求1或2所述之薄膜太阳能电池的绒面透明导电氧化物薄膜的制备方法，其特征在于所述绒面透明导电氧化物薄膜的波长为600nm，处雾度>30%。