[发明专利]一种快速射频微机械开关

权利要求书

1.一种快速射频微机械开关，包括复合悬臂梁(1)、驱动下电极(4)、射频传输线(5)和高阻硅衬底(7)，其特征在于，

复合悬臂梁(1)是由上下两层介质层和中间的金属层构成的三明治结构，该快速射频微机械开关采用inline排布，复合悬臂梁(1)位于驱动下电极(4)的正上方，平行于射频传输线(5)；复合悬臂梁结构(1)中的金属层作为驱动上电极，在开关导通时复合悬臂梁(1)成为信号线的一部分；

在复合悬臂梁(1)的自由端形成金属接触头(2)，在复合悬臂梁(1)两侧有一对支撑小臂(10)；三明治结构的复合悬臂梁(1)通过锚点(3)固定于射频传输线(5)上。

2.根据权利要求1所述的快速射频微机械开关，其特征在于，所述复合悬臂梁(1)中的上下两层介质层选用高杨氏模量低密度的材料。

3.根据权利要求2所述的快速射频微机械开关，其特征在于，所述高杨氏模量低密度的材料为氮化硅。

4.根据权利要求1所述的快速射频微机械开关，其特征在于，所述复合悬臂梁(1)是该快速射频微机械开关的可动结构，在该可动结构中的金属层采用金Au。

5.根据权利要求1所述的快速射频微机械开关，其特征在于，所述复合悬臂梁(1)上具有规则排列的小孔。

6.根据权利要求1所述的快速射频微机械开关，其特征在于，所述复合悬臂梁(1)正对驱动下电极(4)的部分，其横向尺寸与驱动下电极(4)尺寸一致。

7.根据权利要求1所述的快速射频微机械开关，其特征在于，所述复合悬臂梁(1)侧面制作有一对支撑小臂(10)，且所述支撑小臂(10)是由上下两层介质层和中间金属层构成的三明治结构，与复合悬臂梁(1)同时制作形成。

8.根据权利要求7所述的快速射频微机械开关，其特征在于，所述支撑小臂(10)形状为直角折型、钝角折型或直角弓形，支撑小臂(10)与复合悬臂梁(1)的主梁连接处是在前端或中间驱动电极板处。

9.根据权利要求1所述的快速射频微机械开关，其特征在于，所述射频传输线(5)固定在淀积有绝缘层(6)的高阻硅衬底(7)上，并且采用共面波导传输模式，地线分布在传输线两侧，通过双端固支梁(11)连接。

10.根据权利要求9所述的快速射频微机械开关，其特征在于，

所述射频传输线(5)采用厚金属层结构，该厚金属层结构为厚铜；

所述绝缘层(6)是由热氧化500nm二氧化硅和LPCVD 500nm氮化硅构成，所述高阻硅衬底(7)是电阻率为≥20000Ω·cm的高阻硅衬底。