[发明专利]飞秒激光薄膜微纳加工实时监测装置

权利要求书

1.一种飞秒激光薄膜微纳加工实时监测装置，该装置包括激光发生系统、外光路系统、PC机和三维移动平台；所述的激光发生系统依次由泵浦源、飞秒激光器和再生放大器组成；所述的外光路系统依次由全反镜、光闸、衰减镜、半透半反镜和聚焦镜组成；激光发生系统发出的激光经外光路系统聚焦在聚焦镜上；其特征在于：该装置还设有光谱聚焦镜、光纤探头、光谱仪、增强型CCD和时间延迟控制器；所述的光谱聚焦镜和光纤探头固定在三维移动平台上，光谱仪通过数据线与光纤探头连接，光谱仪还通过信号线与时间延迟控制器连接，时间延迟控制器通过信号线与飞秒激光器连接，飞秒激光器、增强型CCD、光闸和三维移动平台均通过信号线与PC机连接。

2.根据权利要求1所述的一种飞秒激光薄膜微纳加工实时监测装置，其特征在于：在半透半反镜的反射方向侧设有能量计。

3.根据权利要求1所述的一种飞秒激光薄膜微纳加工装置，其特征在于：所述的光谱仪的响应波段为200nm～980nm，分辩率为0.1nm。