[发明专利]一种防太阳能电池减反射绒面产生黑纹的绒面制备方法无效
申请号: | 201210108357.2 | 申请日: | 2012-04-13 |
公开(公告)号: | CN102629642A | 公开(公告)日: | 2012-08-08 |
发明(设计)人: | 韩帅君;刘绪红;梁冬青;段少雷;李洋 | 申请(专利权)人: | 上海超日(洛阳)太阳能有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;C30B33/10;C23F1/24 |
代理公司: | 洛阳市凯旋专利事务所 41112 | 代理人: | 陆君 |
地址: | 471900*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 太阳能电池 反射 产生 制备 方法 | ||
【技术领域】
本发明涉及太阳能电池加工领域,尤其是涉及一种在制备太阳能电池减反射绒面时能够避免绒面产生黑纹的制备方法。
【背景技术】
公知的,在制作太阳能电池的工序流程中,由于第一道清洗制绒工序减反射绒面的制备能够直接影响扩散方块电阻的均匀性、磷硅玻璃层厚度的均匀性、氮化硅膜的均匀性以及印刷和烧结的质量,因此,清洗制绒属于太阳能电池制作流程的一道重要工序;目前,制备减反射绒面一般是采用湿法槽式制绒,即利用机械臂将装有太阳能级硅片的硅片承载盒依次放入相应的溶液槽槽内进行操作,从而完成硅片减反射绒面的制备;
然而,在长期的实际操作中却发现,硅片承载盒内的硅片在存放有HF和HN03混合溶液的溶液槽内完成减反射绒面制备后,必须由机械臂将硅片承载盒提起并放到冲洗槽内对硅片进行冲洗,但是在这个换槽的过程中,依附在太阳能级硅片表面的混合溶液会受重力的影响沿硅片表面下滑,且在下滑的过程中继续对硅片进行反应;由于太阳能级硅片表面的混合溶液在下滑的过程中分布极不均匀且伴随有放热反应,这极易造成太阳能级硅片的局部表面反应时间延长及温度升高,从而发生局部表面反应过腐蚀现象,导致产生黑纹,进而极大的降低了太阳能电池的转换效率;
为解决因黑纹而降低太阳能电池转换效率的问题,现有的办法是针对湿法槽式制绒设备中的机械臂进行如下改造;一、通过在换槽时加快机械臂的行进速度来减少混合溶液在下滑时与硅片表面接触的时间,从而以降低硅片表面反应过腐蚀的发生机率来避免黑纹的产生;但是,这种办法在应用时不仅会增加机械臂的磨损程度及降低操作的稳定性,而且其还只能减少黑纹的产生,却不能根除黑纹;二、在机械臂上加装喷淋管,从而利用喷淋管在换槽过程中对硅片承载盒内的硅片进行喷淋,避免混合溶液与硅片表面发生反应,从而杜绝黑纹的产生;然而,这种办法却会导致喷淋出的水将硅片表面的混合溶液冲击的四处飞溅,从而极易造成周边的设备部件被腐蚀,严重时不但会影响设备的使用寿命,而且还会引发安全事故。
【发明内容】
为了克服背景技术中的不足,本发明公开了一种防太阳能电池减反射绒面产生黑纹的绒面制备方法,在太阳能电池清洗制绒工序中制备硅片减反射绒面时应用所述的制备方法,能够在制备太阳能电池硅片表面减反射绒面的工序中有效解决黑纹的产生,从而避免太阳能电池的转换效率受到黑纹的影响。
为实现上述发明目的,本发明采用如下技术方案:
一种防太阳能电池减反射绒面产生黑纹的绒面制备方法,所述的方法步骤如下:
A. 将HF和HN03混合后的混合溶液温度控制在6~8度;
B. 待将混合溶液输入至溶液槽内后,利用机械臂把放有硅片的硅片承载盒放入溶液槽中的混合溶液内,使硅片承载盒内的硅片浸泡于混合溶液中进行减反射绒面制备;
C. 制备结束,打开在溶液槽槽底设置的出液口,将溶液槽内的混合溶液排出;
D. 当溶液槽内的混合溶液排完后密闭出液口,然后利用喷淋装置对溶液槽中硅片承载盒内的硅片进行喷淋以冲刷掉残留在硅片表面的混合溶液;
E. 喷淋结束,打开在溶液槽槽底设置的出液口,将溶液槽内的水液排出;
F. 待溶液槽内的水液排完后密闭出液口,利用机械臂将放有硅片的硅片承载盒提取出溶液槽进行后续工序。
所述的防太阳能电池减反射绒面产生黑纹的绒面制备方法,所述的方法是通过在放置混合溶液的容器内安置冷却水盘管,并根据混合溶液的温度调节在冷却水盘管中循环引入的冷却水水量,从而将混合溶液的温度控制在6~8度。
所述的防太阳能电池减反射绒面产生黑纹的绒面制备方法,所述方法中在进行减反射绒面制备时,硅片承载盒内的硅片需要浸泡在混合溶液中2~5分钟。
所述的防太阳能电池减反射绒面产生黑纹的绒面制备方法,所述方法中在冲刷残留在硅片表面的混合溶液时,喷淋装置需要对硅片喷淋1~3分钟。
所述的防太阳能电池减反射绒面产生黑纹的绒面制备方法,应用所述方法的喷淋装置为安装在溶液槽槽盖板上的喷淋管,以及在喷淋管管头设置的对应硅片承载盒盒内硅片的喷嘴。
所述的防太阳能电池减反射绒面产生黑纹的绒面制备方法,所述方法中喷淋出的是18MΩ的纯水。
所述的防太阳能电池减反射绒面产生黑纹的绒面制备方法,应用所述方法的溶液槽槽底设置有一个用于轮换排出混合溶液及喷淋水液的出液口,或者是设置有分别对应排出混合溶液和排出喷淋水液的出液口。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的