[发明专利]基于MEMS金属桥换能元结构由常断向常通状态转换双稳态开关无效
| 申请号： | 201210108867.X | 申请日： | 2012-04-12 |
| 公开（公告）号： | CN103377859A | 公开（公告）日： | 2013-10-30 |
| 发明（设计）人： | 赵越;娄文忠;宋荣昌;丁旭冉 | 申请（专利权）人： | 北京理工大学 |
| 主分类号： | H01H59/00 | 分类号： | H01H59/00;H01H11/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100081 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基于 mems 金属 桥换能元 结构 状态 转换 双稳态 开关 | ||
【权利要求书】：
1.一种基于MEMS金属桥换能元结构由常断向常通状态转换双稳态开关(ON-OFF)，包括硅基底、绝缘层、平时断开预备被连接的金属导线、金属桥换能元和表面焊盘。其装配特征是：在硅片上表面氧化和淀积绝缘层，在绝缘层上溅射预备被连接的金属导线并刻蚀出导线与电极形状，在导线上层沉积钝化层，并在钝化层表面溅射金属并刻蚀出金属桥，之后在金属桥层表面沉积钝化层并进行表面金属化，制作焊盘。
2.根据权利要求1所述的基于MEMS金属桥换能元结构由常断向常通状态转换双稳态开关，其特征是：所述的基底材料是硅基半导体材料<100>或硅基半导体材料<110>。
3.根据权利要求1所述的基于MEMS金属桥换能元结构由常断向常通状态转换双稳态开关，其特征是：所述的平时断开预备被连接的金属导线，在预备被连接处，导线断开，在断开处两侧导线端部具有彼此交叉并绝缘的金属电极。
4.根据权利要求1所述的基于MEMS金属桥换能元结构由常断向常通状态转换双稳态开关，其特征是：所述的金属桥换能元的桥区部分应位于平时断开预备被连接的金属导线交叉电极区的上方。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京理工大学，未经北京理工大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201210108867.X/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种直放站选频器
- 下一篇：用于以语音启动人机界面的方法和系统
