[发明专利]一种高耐磨、自润滑碳化硅陶瓷材料的制备方法

权利要求书

1.一种高耐磨、自润滑碳化硅陶瓷材料的制备方法，其特征在于包括下述步骤：

(1)将碳化硅陶瓷材料进行预处理；

(2)将步骤(1)中的碳化硅陶瓷材料放入以丙烯作为碳源气体、氮气作为稀释气体的电磁场辅助化学气相沉积炉中，在自限温热壁发热体系和变流电夹板式自发热体的共同作用下，在一定温度、压强条件下，利用电磁场辅助效应，对极化裂解的丙烯带电自由基进行场力吸附沉积。

(3)将步骤(2)中沉积好的碳化硅陶瓷材料随炉冷却至室温，取出碳化硅陶瓷材料。

2.根据权利要求1所述的一种高耐磨、自润滑碳化硅陶瓷材料的制备方法，其特征在于：步骤(1)中碳化硅陶瓷材料预处理包括在超声波作用下用洗涤、烘干。

3.根据权利要求2所述的一种高耐磨、自润滑碳化硅陶瓷材料的制备方法，其特征在于：超声波清洗所用的溶液包括乙醇、丙酮等。

4.根据权利要求1所述的一种高耐磨、自润滑碳化硅陶瓷材料的制备方法，其特征在于：步骤(2)中丙烯和氮气的纯度均在98％以上，丙烯和氮气按一定流量比通入炉体内，其中二者的流量比通常在1∶3～3∶1之间。

5.根据权利要求1所述的一种高耐磨、自润滑碳化硅陶瓷材料的制备方法，其特征在于：步骤(2)中沉积温度在700～1200℃，沉积压强在1～12Kpa，沉积时间6～20h。