[发明专利]谐振器及其控制方法

权利要求书

1.一种谐振器(1)，包括谐振器本体和激励电极(30)，所述激励电极用于驱动谐振器进入谐振模式，其中谐振器本体平行于第一轴振动；和

检测装置(27、28、29)，用于检测第一轴方向的振动并产生得自于所述振动的电输出信号，

其中所述谐振器包括第一锚定装置(23、24)，谐振器第一锚定装置处固定在适当位置，其中所述第一锚定装置在振动未引起运动的节点处连接到谐振器本体，

其中所述谐振器包括第二锚定装置(90)和在谐振器本体(205)与第二锚定装置之间的连接臂(92；94a、94b；96)，其中连接臂在非节点处连接到谐振器本体，

其中所述连接臂(92；94a、94b；96)包括横切于第一轴方向的第一部分(84a)、平行于第一轴方向的第二部分(84b)以及横切于第一轴方向的第三部分(84c)，从而具有Z形设计。

2.根据权利要求1所述的谐振器，其中所述连接臂(92；94a、94b、；96)从谐振器本体开始在与第一轴方向横切的方向延伸。

3.根据权利要求2所述的谐振器，其中所述连接臂(92；94a、94b；96)对于沿第一轴方向的振动具有与谐振器质量块相同的谐振频率，但是对于沿横切方向的振动具有不匹配的谐振频率。

4.根据前述权利要求任一项所述的谐振器，其中所述谐振器本体有两个自由端，并且第一锚定装置在所述两个自由端之间的中间位置连接至谐振器本体，并且其中设置有多个连接臂，每个连接臂具有Z形设计，并且每个连接臂均在非节点处连接到谐振器本体，并且其中所述连接臂(92；94a、94b；96)的一个或多个连接到每个自由端。

5.根据前述权利要求任一项所述的谐振器，其中

谐振器本体包括沿着第一轴方向延伸的一对平行的延伸臂(20a、20b)，在对延伸臂的每个端部具有头部(205)，并且该头部连接到该对平行延伸臂，其中第一锚定装置连接到延伸臂的中间，

其中设置有多个连接臂，每个连接臂具有Z形设计，并且每个连接臂在非节点处连接到谐振器本体，并且其中连接臂(92；94a、94b；96)连接到头部(205)。

6.根据权利要求5所述的谐振器，包括：

第一连接臂(92；94a、94b；96)，从一个头部(205)开始沿着与第一轴方向横切的第一方向向外延伸，

第二连接臂(92；94a、94b；96)，从所述一个头部开始沿着与第一轴方向横切的第二相反方向向外延伸，

第三连接臂(92；94a、94b；96)，从另一个头部开始沿着与第一轴方向横切的第一方向向外延伸，以及

第四连接臂(92；94a、94b；96)，从所述另一个头部开始沿着与第一轴方向横切的第二相反方向向外延伸，

其中所述谐振器关于第一轴镜像对称。

7.根据权利要求5所述的谐振器，包括：

第一对连接臂(94a、94b)，从一个头部(205)开始沿着与第一轴方向横切的第一方向向外延伸，

第二对连接臂(94a、94b)，从所述一个头部开始沿着与第一轴方向横切的第二相反方向向外延伸，

第三对连接臂(94a、94b)，从另一个头部开始沿着与第一轴方向横切的第一方向向外延伸，以及

第四对连接臂(94a、94b)，从所述另一个头部开始沿着与第一轴方向横切的第二相反方向向外延伸，

其中所述谐振器关于第一轴镜像对称。

8.一种控制谐振器(1)的方法，所述谐振器包括谐振器本体和激励电极(30)，所述激励电极用于驱动谐振器进入谐振模式，其中所述谐振器本体平行于第一轴振动，并且所述方法包括：

在第一锚定装置(23、24)处固定谐振器，其中所述第一锚定装置在振动未引起运动的节点处连接到谐振器本体，

通过将连接臂(92；94a、94b；96)连接在谐振器本体(205)与第二锚定装置之间以在第二锚定装置(90)处固定谐振器，其中所述连接臂在非节点处连接到谐振器本体，以及其中所述连接臂(92；94a、94b；96)包括横切于第一轴方向的第一部分(84a)、平行于第一轴方向的第二部分(84b)以及横切于第一轴方向的第三部分(84c)，从而具有Z形设计；

其中所述方法包括：

使用所述连接臂抑制横切于第一轴方向的振动模式，以及通过在谐振器质量块与连接臂组合振动的节点处将连接臂连接到第二锚定装置，来避免沿第一轴方向的主振动模式的衰减；

检测沿第一轴方向的振动；以及

产生得自于所述振动的电输出信号。