[发明专利]一种测量光斑大小的方法

权利要求书

1.一种测量光斑大小的方法，其特征在于：该方法采用光斑依次通过阵列探测器中相邻两个探测元，获取探测器中相邻两个探测元的响应曲线，根据响应曲线的特征提取光斑大小。

2.根据权利要求1所述的测量光斑大小的方法，其特征在于：该方法具体包括：

步骤A1、将被测光学系统按光学设计给出的空气间隔、轴向关系进行装调，在被测光学系统前依次布置模拟目标、转台、转折反射镜，其中转折反射镜置于转台上，在被测测量光学系统成像物面上布置阵列探测器，对阵列探测器均匀性校正；

步骤A2、通过转台转动转折反射镜实现模拟目标扫描，使得光斑依次通过阵列探测器的相邻两个探测元，记录每次转动角度和相应阵列探测器探测元的响应输出；

步骤A3、分别获取阵列探测器相邻两个探测元的输出响应曲线，并在统一横坐标系下综合相邻两个探测元的输出响应曲线；

步骤A4、根据相邻两个探测元的输出响应曲线的相关特征，计算出实际测量中相邻两元响应曲线交点与单个元输出响应的峰值比值，以下简称交峰比；

步骤A5、仿真计算光斑依次扫描相邻两个探测元，得到模拟输出响应曲线；计算不同光斑大小时，相邻两元响应曲线的交峰比，得到一系列光斑大小与交峰比的对应关系，通过拟合得到交峰比随光斑大小变化的曲线；

步骤A6、将步骤A4得到的实际测量得到的交峰比，带入步骤A5拟合得到光斑大小与交峰比的曲线，通过插值推算确定光斑大小。

3.根据权利要求2所述的测量光斑大小的方法，其特征在于：所述阵列探测器的光敏面为矩形结构。

4.根据权利要求2所述的测量光斑大小的方法，其特征在于：所述阵列探测器的响应截至波长不小于入射光波长。

5.根据权利要求2所述的测量光斑大小的方法，其特征在于：所述阵列探测器的探测元响应率相同。

6.根据权利要求2所述的测量光斑大小的方法，其特征在于：光斑大小大于阵列探测器的相邻探测元之间的间距。

7.根据权利要求2所述的测量光斑大小的方法，其特征在于：仿真计算光斑依次扫描相邻两个探测元的方法是基于光斑能量分布是来自被测光学系统的CODEV仿真得到的光斑点扩散函数。