[发明专利]硅烷灌装系统的气瓶快速置换处理装置无效
| 申请号： | 201210111633.0 | 申请日： | 2012-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN102635784A | 公开（公告）日： | 2012-08-15 |
| 发明（设计）人： | 林培川;陈军 | 申请（专利权）人： | 南京特种气体厂有限公司 |
| 主分类号： | F17D1/04 | 分类号： | F17D1/04;F17C5/06 |
| 代理公司： | 江苏圣典律师事务所 32237 | 代理人： | 程化铭 |
| 地址： | 211113 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 硅烷 灌装 系统 快速 置换 处理 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种硅烷灌装系统的气瓶快速置换处理装置，包括高纯氦气气源、氦气气源阀门V5、抽真空系统、抽真空系统阀门V6、置换处理装置连接阀V3和排空阀V4；其特征是：氦气气源阀门V5、抽真空系统阀门V6和排空阀V4三路并联连接在置换处理装置连接阀V3上，高纯氦气气源与氦气气源阀门V5连接，抽真空系统与抽真空系统阀门V6连接。
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