[发明专利]振动陀螺传感器

权利要求书

1.一种振动陀螺传感器，包括：

支撑衬底，包括第一表面和背对的第二表面；

在所述第一表面上的具有多个焊接区的布线图案；

在所述第二表面上的多个安装端子部件；以及

在所述支撑衬底的所述第一表面上的至少两个振动元件，所述至少两个振动元件能够检测不同轴方向上的振动。

2.根据权利要求1所述的振动陀螺传感器，其中每个振动元件包括具有安装表面的基底部件，在所述安装表面上形成多个连接至所述焊接区的端子；以及振动器部件，以悬臂形式从基底部件的一侧整体突出。

3.根据权利要求1所述的振动陀螺传感器，其中使用1kHz或更大的工作频率差驱动所述振动元件。

4.根据权利要求3所述的振动陀螺传感器，其中使用2kHz至3kHz的工作频率差驱动所述振动元件。

5.根据权利要求2所述的振动陀螺传感器，其中所述两个振动元件的基底部件中的至少一个被安装在所述支撑衬底的角部。

6.根据权利要求5所述的振动陀螺传感器，其中所述两个振动元件的基底部件被安装在所述支撑衬底的相对的角部。

7.根据权利要求2所述的振动陀螺传感器，其中每个振动元件具有与所述基底部件的安装表面共面的面向基底的表面；以及

所述振动器部件具有第一电极层、压电层和第二电极层，这些以该顺序形成在所述面向基底的表面上。

8.根据权利要求1所述的振动陀螺传感器，其中安装所述两个振动元件以使得对轴成90°设置所述振动器部件。

9.根据权利要求2所述的振动陀螺传感器，其中每个所述振动元件具有在基底部件的安装表面上形成的多个端子部件上提供的金属凸起，以及通过所述金属凸起将多个端子部件连接至相应焊接区。

10.根据权利要求5所述的振动陀螺传感器，其中除了所述多个振动元件之外，在所述支撑衬底上还安装电路元件。

11.根据权利要求10所述的振动陀螺传感器，其中所述电路元件包括IC元件，以及用于所述IC元件的安装区域位于连接多个振动元件的基底部件的安装区域的线的中心部分。

12.根据权利要求10所述的振动陀螺传感器，其中所述电路元件包括IC元件，以及用于所述IC元件的安装区域设置在当所述支撑衬底的平面被分割为第一至第四象限时用于所述IC元件的至少一部分安装区域属于第一至第四象限中的每个的预定区域。

13.根据权利要求1所述的振动陀螺传感器，其中每个振动元件的振动器部件具有形成在其上表面上的处理标记，用于调整其谐振频率。

14.根据权利要求13所述的振动陀螺传感器，其中在距离所述振动器部件的基底末端在所述振动器部件的整个长度的4/5或更大的距离处形成所述处理标记。

15.根据权利要求1所述的振动陀螺传感器，其中每个振动元件具有对齐标记，用于与所述支撑基底相对齐。

16.根据权利要求1所述的振动陀螺传感器，其中所述支撑衬底的表面覆盖有光屏蔽盖元件。