[发明专利]基板检查装置、基板检查方法及基板检查装置的调整方法

权利要求书

1.一种基板检查装置，其检查由第1基板层和第2基板层贴合而成的基板的所述第1基板层与所述第2基板层之间的界面中可能产生的微小空洞，

该基板检查装置具有：

照明单元，其以倾斜入射的方式对所述基板的表面照射预定波长的检查光；

线感测照相机，其隔着由所述检查光形成在所述基板上的带状照明区域而配置在与所述照明单元相反侧的预定位置处；

移动机构，其使所述基板与所述线感测照相机及所述照明单元在横穿所述带状照明区域的方向上进行相对移动；以及

图像处理单元，其对来自所述线感测照相机的影像信号进行处理，

该图像处理单元具有：

基板图像信息生成单元，其在所述移动机构执行所述照明单元及所述线感测照相机与所述基板的相对移动时，根据从所述线感测照相机输出的影像信号生成表示所述基板的图像的基板图像信息；以及

检查结果信息生成单元，其根据所述基板图像信息生成与所述基板的所述第1基板层和所述第2基板层之间的界面中可能产生的微小空洞有关的检查结果信息。

2.根据权利要求1所述的基板检查装置，其中，

所述线感测照相机被设置成：该线感测照相机的摄影线位于从形成在所述基板上的带状照明区域的照度分布最大的带状部分起，朝向远离所述照明单元的方向偏离了预定距离的位置。

3.根据权利要求1所述的基板检查装置，其中，

所述线感测照相机被设置成：该线感测照相机的摄影线位于从形成在所述基板上的带状照明区域的中心线起，朝向远离所述照明单元的方向偏离了预定距离的位置。

4.根据权利要求1～3中任意一项所述的基板检查装置，其中，

所述检查结果信息生成单元具有如下单元：该单元根据所述基板图像信息，在该基板图像信息所表示的基板图像中检测与所述第1基板层和所述第2基板层之间的界面中产生的微小空洞对应的微小空洞部分，

所述检查结果信息生成单元生成包含与检测到的所述微小空洞部分的形状有关的信息的所述检查结果信息。

5.根据权利要求4所述的基板检查装置，其中，

所述检查结果信息生成单元具有如下单元：该单元计算与所述微小空洞部分的厚度有关的信息作为与所述微小空洞部分的形状有关的信息，

所述检查结果信息生成单元生成包含与所述微小空洞部分的厚度有关的信息的所述检查结果信息。

6.根据权利要求5所述的基板检查装置，其中，

计算与所述微小空洞部分的厚度有关的信息的单元具有从检测到的所述微小空洞部分中提取环状图像部分的单元，

并且，计算与所述微小空洞部分的厚度有关的信息的单元根据提取出的所述环状图像部分的干涉条纹的形状计算与所述微小空洞部分的厚度有关的信息。

7.一种基板检查方法，检查由第1基板层和第2基板层贴合而成的基板的所述第1基板层与所述第2基板层之间的界面中可能产生的微小空洞，

该基板检查方法具有如下步骤：

基板扫描步骤，在照明单元以倾斜入射的方式对所述基板的表面照射预定波长的检查光的状态下，使所述基板与线感测照相机及该照明单元在横穿由所述检查光形成在所述基板上的带状照明区域的方向上进行相对移动，所述线感测照相机隔着所述带状照明区域而配置在与所述照明单元相反侧的预定位置处；

基板图像信息生成步骤，在进行所述基板与所述照明单元及所述线感测照相机的相对移动时，根据从所述线感测照相机输出的影像信号生成表示所述基板的图像的基板图像信息；以及

检查结果信息生成步骤，根据所述基板图像信息生成与所述基板的所述第1基板层和所述第2基板层之间的界面中可能产生的微小空洞有关的检查结果信息。

8.根据权利要求7所述的基板检查方法，其中，

所述检查结果信息生成步骤具有如下步骤：根据所述基板图像信息，在该基板图像信息所表示的基板图像中检测与所述第1基板层和所述第2基板层之间的界面中产生的微小空洞对应的微小空洞部分，

在所述检查结果信息生成步骤中，生成包含与检测到的所述微小空洞部分的形状有关的信息的所述检查结果信息。