[发明专利]氩气的纯化方法及纯化装置

权利要求书

1.一种氩气的纯化方法，其为对作为杂质至少含有氧、氢、一氧化碳、烃和氮的氩气进行纯化的方法，其特征在于，

判定所述氩气中的氧量是否超过与所述氩气中全部的氢、一氧化碳和烃反应所需的氧的设定量；

所述氩气中的氧量在所述设定量以下时，添加氧而使氧量超过所述设定量；

接着，使用催化剂使所述氩气中的一氧化碳、氢和烃与氧反应，从而以残留有氧的状态生成二氧化碳和水；

接着，使所述氩气与金属接触，从而使所述氩气中的氧与所述金属反应而生成金属氧化物；

接着，通过变压吸附法使所述氩气中的二氧化碳、水和氮吸附于吸附剂。

2.如权利要求1所述的氩气的纯化方法，其特征在于，所述氩气含有作为杂质的油分时，在进行所述使用催化剂的反应之前，使所述氩气中的烃的一部分和油分吸附于活性炭，然后进行所述氩气中的氧量是否超过与所述氩气中全部的氢、一氧化碳和烃反应所需的氧的设定量的所述判定。

3.如权利要求1或2所述的氩气的纯化方法，其特征在于，作为所述金属，使用形成金属羰基化合物的金属以外的金属。

4.如权利要求3所述的氩气的纯化方法，其特征在于，所述金属为铜、锌或它们的混合物。

5.如权利要求1或2所述的氩气的纯化方法，其特征在于，在所述利用变压吸附法的吸附后，通过-10℃～-50℃下的变温吸附法使残留于所述氩气的氮吸附于吸附剂。

6.如权利要求1或2所述的氩气的纯化方法，其特征在于，在进行所述利用变压吸附法的吸附时，作为所述吸附剂使用沸石及活性氧化铝。

7.一种氩气的纯化装置，其为对作为杂质至少含有氧、氢、一氧化碳、烃和氮的氩气进行纯化的装置，其特征在于，

具备供导入所述氩气的第一反应器、供导入从所述第一反应器流出的氩气的第二反应器和供导入从所述第二反应器流出的氩气的吸附装置，

在所述第一反应器中收纳有使所述氩气中的一氧化碳、氢和烃与氧反应的催化剂，

在所述第二反应器中收纳有通过与所述氩气中的氧反应而生成金属氧化物的金属，

所述吸附装置具有通过变压吸附法吸附所述氩气中的二氧化碳、水和氮的PSA单元。

8.如权利要求7所述的氩气的纯化装置，其特征在于，具备用于向导入所述第一反应器的氩气中添加氧的氧供给器。

9.如权利要求7或8所述的氩气的纯化装置，其特征在于，具备供导入所述氩气的吸附塔，在所述吸附塔中收纳有用于吸附所述氩气中的烃的一部分和油分的活性炭，从所述吸附塔流出的所述氩气被导入所述第一反应器中。

10.如权利要求7或8所述的氩气的纯化装置，其特征在于，所述吸附装置具有TSA单元，所述TSA单元用于通过-10℃～-50℃下的变温吸附法来吸附从所述PSA单元流出的所述氩气中的氮。